[发明专利]一种可以直观识别绿色伪装的检验镜及制备方法

权利要求书

1.一种可以直观识别绿色伪装的检验镜，其特征在于：以蓝色滤光玻璃QB3作为基底材料, 在蓝色滤光玻璃QB3的两个表面镀长波通截止滤光膜；所述长波通截止滤光膜为高折射率镀膜材料和低折射率镀膜材料多次交替镀膜而成；高折射率镀膜材料为ZrO₂材料，低折射率镀膜材料为SiO₂材料；

所述检验镜能大量透过波长680nm以上的红光和近红外线、少量透过470nm～520nm的蓝绿光、在500nm或510nm附近有微小的透射峰值、在其他波段透过甚少。

2.根据权利要求1所述的可以直观识别绿色伪装的检验镜，其特征在于：所述蓝色滤光玻璃QB3的厚度为1～2mm，蓝色滤光玻璃QB3正反两表面所镀长波通截止滤光膜的总厚度为1.5μm～1.7μm。

3.根据权利要求2所述的可以直观识别绿色伪装的检验镜，其特征在于：所述蓝色滤光玻璃QB3的厚度为1.5mm。

4.根据权利要求1所述的可以直观识别绿色伪装的检验镜，其特征在于:所述蓝色滤光玻璃QB3表面的长波通截止滤光膜膜系结构为：

（0.5HL0.5H）^S，取中心波长λ₀≈420nm

其中：H---高折射率镀膜材料，其光学厚度为中心波长的四分之一；L---低折射率镀膜材料，其光学厚度为中心波长的四分之一；S---循环次数，λ₀---中心波长；选择S=8，长波通截止滤光膜共17-18层。

5.根据权利要求1或4所述的可以直观识别绿色伪装的检验镜，其特征在于: 所述高折射率镀膜材料和低折射率镀膜材料多次交替镀膜为其中高折射率镀膜材料镀8-9层，低折射率镀膜材料镀8-9层，高折射率镀膜材料和低折射率镀膜材料共镀16-18层，形成的长波通截止滤光膜共16-18层。

6.根据权利要求1所述的可以直观识别绿色伪装的检验镜，其特征在于:所述高折射率镀膜材料ZrO₂材料为高纯ZrO₂二氧化锆光学镀膜材料，高折射率镀膜材料ZrO₂纯度99.5%；低折射率镀膜材料SiO₂材料为高纯SiO₂光学镀膜材料，低折射率镀膜材料SiO₂纯度为99.8%。

7.一种权利要求1所述的可以直观识别绿色伪装的检验镜的制备方法，其特征在于采用真空蒸发镀膜的方法包括以下工序：

a. 将蓝色滤光玻璃QB3在超声波清洗机清洗干净，之后放于工件架上，放入真空镀膜机真空室内，并关闭室门、对真空室抽真空；

b. 在真空度达到3×10^-1Pa时，对蓝色滤光玻璃QB3加温，温度设定为：240℃~250℃，并继续抽真空；

c. 在真空度达到5×10^-3Pa时，开始高折射率镀膜材料ZrO₂ 和低折射率镀膜材料SiO₂分别预熔，两种镀膜材料分别在电子枪的不同坩埚内；

d. 预熔结束后，待真空室的真空度达2×10^-3Pa时，可开始镀膜；由于ZrO₂ 和SiO₂均是氧化物，在汽化成膜时容易“脱氧”，故需向真空室内充入氧气并保证真空度1×10^-3Pa ~2×10^-3Pa；在真空镀膜机上配有质量流量计与压强控制仪以便来控制充入氧气的量以及真空室内的真空度；在镀膜时还要控制好ZrO₂ 与SiO₂这两种镀膜材料的成膜速率；ZrO₂的成膜速率为：0.35nm/S ~0.40nm/S，而SiO₂的成膜速率为：0.8nm/S ~1.0nm/ S；

e. 对于蓝色滤光玻璃QB3的两面均需镀长波通截止滤光膜膜系，根据蓝色滤光玻璃QB3本征光学性能，以及产品所需的截止深度，该长波通截止滤光膜膜系需要镀ZrO₂ 与SiO₂高、低折射两种材料共16-18层；

f. 工序e完成后，关闭电子枪、烘烤加热器、高真空阀门，待真空室温度降到低于80℃后，对真空室充大气到常压，打开真空室门取出已镀好膜的滤光镜片，用该滤光镜片制备可以直观识别绿色伪装的检验镜。