[发明专利]一种可快速干燥的真空镀膜设备

权利要求书

1.一种可快速干燥的真空镀膜设备，包括镀膜室（1），所述镀膜室（1）内底部设置有蒸发室（2），所述蒸发室（2）内部设置有加热板（3），其特征在于，所述蒸发室（2）上方转动安装有靶材盛放板（5），所述靶材盛放板（5）上下两侧均设置有加热组件（12）以及带动所述加热组件（12）沿所述靶材盛放板（5）长度方向水平往复移动的驱动组件；

所述加热组件（12）包括红外加热管（18）以及用于固定所述红外加热管（18）的支架（17），所述支架（17）上部通过支撑杆（16）连接有螺纹套筒（15）；

所述驱动组件包括贯穿所述螺纹套筒（15）并与所述螺纹套筒（15）螺纹配合的驱动杆（10）以及用于带动所述驱动杆（10）转动的驱动电机（14），所述靶材盛放板（5）上下两侧设置有用于承载所述驱动杆（10）的第一立板（13）与第二立板（8），所述驱动电机（14）固定设置在第一立板（13）远离所述第二立板（8）的一侧，所述第一立板（13）与所述第二立板（8）之间还设置有为加热组件（12）的移动提供导向作用的导向组件。

2.根据权利要求1所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一立板（13）与所述第二立板（8）上均设置有与所述驱动杆（10）转动配合的轴承。

3.根据权利要求1所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述红外加热管（18）的长度大于或等于所述卡槽（11）的宽度。

4.根据权利要求1或2所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述导向组件包括固定连接在所述第一立板（13）与所述第二立板（8）之间的导向板（9），所述导向板（9）中部开设有滑槽（20），所述红外加热管（18）以及支架（17）均位于所述导向板（9）底部，所述支撑杆（16）自所述滑槽（20）延伸至所述导向板（9）上方并通过螺纹套筒（15）与所述驱动杆（10）螺纹配合。

5.根据权利要求1所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述支架（17）为U形结构，所述红外加热管（18）端部通过连杆（19）固定设置在所述支架（17）内侧。

6.根据权利要求1所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述靶材盛放板（5）中部开设有用于安装靶材的卡槽（11）。

7.根据权利要求6所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述卡槽（11）侧壁设置有弹性软层（7）。

8.根据权利要求7所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述弹性软层（7）采用硅胶材料制成。

9.根据权利要求1所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述靶材盛放板（5）转动设置在所述镀膜室（1）内部，所述镀膜室（1）内部远离所述驱动电机（14）的一侧内壁上设置有环圈（4），所述环圈（4）内侧周向分布有若干齿片（22），所述驱动杆（10）远离所述驱动电机（14）的一端依次贯穿所述第一立板（13）以及所述第二立板（8）并固定连接有齿轮（21），所述齿轮（21）位于所述环圈（4）内侧并与所述齿片（22）啮合。

10.根据权利要求9所述的一种可快速干燥的真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜室（1）内部左右侧壁固定设置有支撑轴（6），所述支撑轴（6）远离所述镀膜室（1）内壁的一端延伸至所述靶材盛放板（5）侧面内部并与所述靶材盛放板（5）转动配合。