[发明专利]一种传输线脉冲测试系统有效

专利信息
申请号: 202010313914.9 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN111487451B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 曾传滨;王娟娟;倪涛;孙佳星;罗家俊;韩郑生;王玉娟;张煦 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01R19/00 分类号: G01R19/00;G01R29/02
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 传输线 脉冲 测试 系统
【权利要求书】:

1.一种传输线脉冲测试系统,其特征在于,包括:脉冲发生装置、脉冲测试装置;

所述脉冲发生装置的输出端连接所述脉冲测试装置,所述脉冲发生装置将生成的脉冲信号输入所述脉冲测试装置中;

所述脉冲测试装置包括顺次连接的电流探测装置、第一传输线、同轴继电器组、测试探头,所述测试探头用于连接待测对象的第一连接端,所述同轴继电器组包括第一端口,所述第一端口连接所述第一传输线;

所述脉冲测试装置还包括示波器,所述示波器包括第一输入端、第二输入端,所述第一输入端连接所述电流探测装置、所述第二输入端连接所述待测对象的第二连接端;

所述示波器用于采集所述电流探测器探测到的前进波、以及所述待测对象的第二连接端输出的前进波和反射波的叠加波,并基于所述电流探测器探测的前进波和所述叠加波,获得所述待测对象的电流波形。

2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述同轴继电器组还包括第二端口、第三端口,所述第二端口连接直流源,所述第三端口连接皮安表,以用于检测所述待测对象经过静电放电测试后是否被损坏;

所述示波器还包括第三输入端,所述第三输入端连接所述待测对象栅极,用于探测施加于待测对象栅极的电压。

3.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述脉冲发生装置包括:

顺次连接的超快终端极化器、第二传输线、水银继电器、上升沿调节器组,所述上升沿调节器组连接所述电流探测装置;

还包括:程控高压源和限流电阻;

所述程控高压源通过所述限流电阻为所述第二传输线充电。

4.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述第一传输线的长度为所述第二传输线的长度的1.3~2.2倍。

5.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述示波器的第一输入端与所述电流探测装置之间设置第一衰减器,在所述示波器的第二输入端与所述待测对象的第二连接端之间设置第二衰减器。

6.如权利要求3所述的系统,其特征在于,还包括:控制器;

所述控制器分别连接所述超快终端极化器、水银继电器、上升沿调节器以及同轴继电器组。

7.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述超快终端极化器包括超快正压终端极化器、超快负压终端极化器以及第一同轴继电器,所述超快正压终端极化器和所述超快负压终端极化器均连接所述第一同轴继电器,所述第一同轴继电器连接所述第二传输线。

8.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述上升沿调节器组包括至少两个上升沿调节器和两个第二同轴继电器,所述至少两个上升沿调节器均并联后的两端串联于所述两个第二同轴继电器之间。

9.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述电流探测装置包括输入端口、输出端口、探测端口以及第一电阻、第二电阻以及第三电阻;

所述第一电阻连接所述输入端,所述第二电阻设置于所述输入端口与所述输出端口之间、所述第三电阻设置于所述输出端口与所述探测端口之间;

所述输入端口连接所述脉冲发生装置,所述输出端口连接所述第一传输线,所述探测端口连接所述示波器的所述第一输入端。

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