[发明专利]膜厚的检测装置

权利要求书

1.一种膜厚的检测装置，其特征在于，包括：

共通电极单元，包括共通电极；

检出电极单元，与所述共通电极单元在第一方向相对且间隔设置，所述检出电极单元包括检出电极、检出电极盖板、第二框体、中间层及导电层，所述中间层位于所述检出电极盖板的表面上，所述导电层位于所述中间层远离所述检出电极盖板的表面上，所述中间层的表面粗糙度小于所述检出电极盖板的表面粗糙度，所述第二框体具有第二开口，所述检出电极盖板盖设在所述第二框体的所述第二开口上，所述第二框体与所述检出电极盖板形成第二容纳空间，所述检出电极位于所述第二容纳空间内，所述检出电极盖板的介电常数大于3.9，所述第一方向与所述检出电极盖板的厚度方向平行，所述共通电极单元与所述检出电极单元之间形成检测通道。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述中间层位于第一表面上和/或第二表面上，所述第一表面为所述检出电极盖板靠近所述检出电极的表面，所述第二表面为所述检出电极盖板远离所述检出电极的表面。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检出电极单元还包括第二线路板，所述第二线路板位于所述第二容纳空间内，且所述检出电极设置在所述第二线路板的靠近所述检出电极盖板的表面上。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括静电荷感应芯片，所述静电荷感应芯片包括多个所述检出电极。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括保护膜，所述保护膜位于所述导电层的裸露表面上。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述共通电极单元还包括第一框体、共通电极盖板和第一线路板，所述第一框体具有第一开口，所述共通电极盖板盖设在所述第一框体的所述第一开口上，所述第一框体与所述共通电极盖板形成第一容纳空间，所述共通电极位于所述第一容纳空间内，所述第一线路板位于所述第一容纳空间内，且所述共通电极位于所述第一线路板的靠近所述共通电极盖板的表面上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述检出电极盖板至少为以下之一：

陶瓷盖板、石英石盖板、云母片盖板。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述陶瓷盖板至少为以下之一：

氧化物陶瓷盖板、氮化物陶瓷盖板、碳化物陶瓷盖板、金属陶瓷盖板。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述中间层的材料包括氧化铝、氧化硅和氮化硅中的至少一种。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的检测装置，其特征在于，所述导电层至少为以下之一：

导电胶带、导电油墨层、ITO层。

11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述ITO层的厚度大于5nm，所述中间层的厚度90微米～200微米。