[发明专利]大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置及其制备方法

权利要求书

1.一种大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置，其特征在于：包括前驱液循环系统、反溶剂循环系统、惰性气体循环系统、大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭生长系统和加热系统；前驱液循环系统的第一进液口与第一排液口、反溶剂循环系统的第二进液口与第二排液口、惰性气体循环系统的进气口与排气口均通往大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭生长系统，加热系统对大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭生长系统进行加热。

2.根据权利要求1所述的大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置，其特征在于：前驱液循环系统包括：前驱液加液口、第一进液口、第一排液口、第一储液池、前驱液分离纯化循环装置、流速计、阀门和导液管；反溶剂循环系统包括：反溶剂加液口、第二进液口、第二排液口、第二储液池、反溶剂分离纯化循环装置、流速计、阀门和导液管；惰性气体循环系统包括：惰性气体加气口、进气口、排气口、储气瓶、惰性气体分离纯化循环装置、流速计、阀门和导气管；大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭生长系统包括：密闭腔室、透明腔门、支架、阻挡板、支撑板、压强计、温度计、反应衬底和前驱液；加热系统包括：温控加热板。

3.根据权利要求2所述的大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置，其特征在于：第一进液口和第二进液口分别置于密闭腔室的左侧下方，第一排液口置于密闭腔室的右侧上方，第二排液口置于密闭腔室的右侧下方，进气口和出气口分别置于密闭腔室的上方左右两侧，透明腔门置于密闭腔室的上方右侧，压强计置于密闭腔室的上方左侧，温度计置于密闭腔室的正上方，阀门由第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门组成，第一阀门、第二阀门、第三阀门分别置于第一进液口、第二进液口和进气口的前面，第四阀门、第五阀门、第六阀门分别置于第一排液口、第二排液口和排气口的后面，流速计分别置于第一阀门、第二阀门、第三阀门的后面，第一储液池和第二储液池分别置于第四阀门、第五阀门的后面，储气瓶置于第六阀门的后面，分离纯化循环装置分别置于对应物种的储液池或储气瓶的后面，支架立于密闭腔室里的中间处，阻挡板固定于支架的右侧，支撑板立于支架的左侧，温控加热板置于密闭腔室的下方。

4.根据权利要求3所述的大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置，其特征在于：第一储液池临时储存的前驱液经过前驱液分离纯化循环装置后，与前驱液加液口相连通；第二储液池临时储存的反溶剂经过反溶剂分离纯化循环装置后，与反溶剂加液口相连通；储气瓶临时储存的惰性气体经过惰性气体分离纯化循环装置后，与惰性气体的加气口相连通，实现材料循环利用；分离纯化循环装置均含有纯化对应物种的试剂。

5.根据权利要求3所述的大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置，其特征在于：密闭腔室的腔体采用不锈钢材料，透明腔门采用透明钢化玻璃，支架、阻挡板、支撑板和密闭腔室里的所有导管采用聚四氟乙烯材料。