[发明专利]薄膜电池的制备方法及薄膜电池

权利要求书

1.一种薄膜电池的制备方法，其包括如下步骤：

干式蚀刻硅晶片形成多个微电池图案阵列，局部化硼掺杂和磷掺杂所述微电池图案阵列，光刻所述硅晶片以形成多个预定长度和宽度的微电池阵列，钝化微电池侧壁以及各向异性蚀刻微电池侧壁和底部使得微电池的厚度小于预定厚度，

转移层无间隙接触所述微电池阵列以从硅晶片分离所述微电池阵列，转移层将微电池阵列转移到聚酰胺层，然后剥离所述转移层，其中，所述转移层包括接触所述微电池阵列的聚二甲基硅氧烷膜和玻璃纤维膜，所述聚酰胺层经由含有银颗粒的粘合层固定所述微电池阵列，通过设计底切蚀刻将这些元件从聚酰胺层2揭去，微电池直接集成聚酰胺层的预先设置的凹槽中，

在聚酰胺层上喷墨印刷高度与微电池高度一致的导电层使得所述导电层邻接所述微电池阵列且形成电互联，相邻的微电池之间的空隙被导电层填充，层压形成柔性背板，丝网印刷金属线于柔性背板上，然后在柔性背板上沉积图案化电介质层，聚酰胺层设置在所述柔性背板上，微电池和导电层形成具有一个具备平坦的几何形态的暴露表面的表面结构，

在导电层上以微电池为中心套准印刷预定间距和预定高度的支承层，在微电池和两侧的支承层上间隙涂布透明的硅树脂粘合剂，球形透镜经由所述硅树脂粘合剂相对于微电池对准固定，涂布甲基丙烯酸甲酯层以覆盖所述球形透镜、支承层和导电层,经由粘合剂层将柔性背板真空层压到壳体的刚性下表面，在壳体的刚性上表面模制与所述球形透镜对准的微透镜阵列，使得微透镜阵列、球形透镜和微电池阵列相互对准，微透镜阵列、球形透镜和微电池阵列之间的间隔使得太阳光穿透微透镜阵列分别聚焦在对应的球形透镜上，来自球形透镜的太阳光分别聚焦在对应的微电池上,所述预定厚度为6-8微米，所述预定间距为微电池的宽度的1-2倍，所述预定高度与所述球形透镜的焦距正相关，粘合剂选自双组分环氧树脂、聚氨酯、丙烯酸或硅树脂基粘合剂，具有平坦的几何形态的暴露表面可以借助于光学刻蚀和沉积技术以电互联，暴露表面上的所有点都在同一个平面上，使用液体沉积方法将透明硅树脂粘合剂分配到微电池阵列的上表面上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，刚性下表面设有与柔性背板导电连接的连接端子和用于散热的散热单元。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，导电层电连接所述柔性背板，导电层包括多个导电电极，导电电极连接微电池以形成互联导电网络。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，在第一和第二覆铜层压件之间热辊层压印刷布线板形成柔性背板。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述微透镜阵列为柱状微透镜阵列。

6.一种薄膜电池，其特征在于，所述薄膜电池通过权利要求1-5 中任一项所述的方法制备。