[发明专利]一种冷却板的钎焊结构及其制造工艺在审

专利信息
申请号: 202010316820.7 申请日: 2020-04-21
公开(公告)号: CN111644719A 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 牛建新;戴峰泽;叶云霞;任旭东;石小辉 申请(专利权)人: 托伦斯半导体设备启东有限公司;江苏大学
主分类号: B23K1/00 分类号: B23K1/00;B23K1/008;B23K1/20;B23K33/00
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 卢霞
地址: 226200 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 冷却 钎焊 结构 及其 制造 工艺
【权利要求书】:

1.一种冷却板的钎焊结构,包括基板(1)、钎焊料(2)和盖板(3);其特征在于:钎焊料(2)放置于基板(1)的钎焊面(14)和盖板(3)的钎焊面(33)之间;基板(1)上开设有外围方形凸台(11)、冷却槽(12)和梯形凸台(13);盖板(3)上开设有外围方形凹槽(31)和内部方形凹槽(32);外围方形凸台(11)被钎焊表面(14)包围;梯形凸台(13)底部的宽度b1比内部方形凹槽(32)的宽度b2小0.05~0.1mm,梯形凸台(13)侧面与竖直面的角度θ为10~15°;基板(1)的外围方形凸台(11)插入到盖板(3)的外围方形凹槽(31)内;基板(1)的梯形凸台(13)插入到盖板(3)的内部方形凹槽(32)内;基板(1)的梯形凸台(13)与盖板(3)的内部方形凹槽(32)之间放置钎焊料(2),且梯形凸台(13)的下表面与钎焊料(2)相接触,内部方形凹槽(32)的底面与钎焊料(2)相接触。

2.根据权利要求1所述的一种冷却板的钎焊结构,其特征在于:所述的基板(1)和盖板(3)材料均为铝合金。

3.根据权利要求1所述的一种冷却板的钎焊结构制造工艺,其特征在于包括以下步骤:

步骤一:在基板(1)表面和盖板(3)表面分别生成一层耐腐蚀耐高温的涂层;

步骤二:采用脉冲激光清洗所有与钎焊料(2)接触的表面,以提高焊接质量;

步骤三:在基板(1)和盖板(3)的所有钎焊表面之间填入钎焊料(2);

步骤四:对基板(1)和盖板(3)进行真空钎焊,钎焊温度为590℃,气压为5.0x10-3 Pa。

4.根据权利要求3所述的一种冷却板的钎焊结构制造工艺,其特征在于:所述的耐腐蚀耐高温的涂层为氧化铝陶瓷涂层或磷酸铝无机涂层。

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