[发明专利]一种反射式在线涂层测厚仪

说明书

一种反射式在线涂层测厚仪，包括安装台、滑台、限位开关、电机、控制柜和测厚部件；滑台设于安装台的一侧，所述测厚部件移动式嵌合在滑台中，并通过电机驱动进行运动。本测厚仪采用可见光进行在线测膜厚，除了规避红外、射线法存在的问题，本测厚仪测量范围宽，测量精度高，是目前在线涂层厚度测量最理想的测量方法。

技术领域

本发明涉及膜厚测量领域，具体涉及一种反射式在线涂层测厚仪。

背景技术

涂布广泛应用于感光材料、电子、胶带，光学膜、包装等领域，涂膜厚度的检测是保证各类涂布产品质量的必备手段，对高新科技产业的发展有着极其重要的意义。传统的在线膜厚测量采用红外、射线法，红外的测量精度差，测量范围小，达不到实际生产的要求，射线法存在放射性污染，对劳保要求高，对产品有损伤，正在逐步淘汰。

发明内容

本发明提出一种反射式在线涂层测厚仪，用于在线膜厚测量，适用于生产线的采用测量控制及精密涂膜的实验室研究等，多参数可调，能适应不同样品的测量。

一种反射式在线涂层测厚仪，包括安装台、滑台、限位开关、电机、控制柜和测厚部件；

所述滑台设于安装台的一侧，所述测厚部件移动式嵌合在滑台中，并通过电机驱动进行运动；

所述测厚部件包括测头、光学光源、光谱仪、信号放大器、光源电源、信号电源、光纤、滑块和拖链；

所述测头、光学光源、光谱仪、信号放大器、光源电源、信号电源、光纤均安装在嵌合在滑台中的滑块上，并通过由电机驱动的拖链引导以进行在滑台中的运动；

所述光学电源和光谱仪通过光纤连接至测头，所述信号放大器与光谱仪连接，并通过信号线与控制柜连接；

所述光源电源连接光学电源，所述信号电源连接信号放大器。

进一步地，所述控制柜包括显示器、键盘鼠标、工控机和主机盒，所述主机盒包括信号接收器、进电开关、电源、驱动器以及控制卡；

所述主机盒与工控机连接，所述工控机与显示器连接，所述键盘鼠标连接至工控机进行操作控制；

所述主机盒的信号接收器通过信号线与测厚部件的信号放大器连接。

进一步地，所述驱动器与电机相连，并通过控制卡与工控机连接，将电机的反馈信号传送至工控机以对测厚部件的位置和运动进行控制。

进一步地，所述工控机对测厚部件测得的数据进行处理后显示至显示器上。

进一步地，所述测头采用可见光进行测厚。

进一步地，所述滑台上设有限位开关，对测厚部件的运动进行限位。

本发明达到的有益效果为：本发明采用可见光进行在线测膜厚，除了规避背景技术中红外、射线法存在的问题，本发明提出的测厚仪测量范围宽，测量精度高，是目前在线涂层厚度测量最理想的测量方法。

附图说明

图1为本发明实施例中所述测厚仪的结构示意图。

图2为本发明实施例中所述测厚部件的局部放大结构示意图。

图3为本发明实施例中所述控制柜的内部结构侧视图。

图4为本发明实施例中所述控制柜的内部结构正视图。

图5为本发明实施例中所述测厚仪的立体结构示意图。