[发明专利]一种盲孔填充电镀铜溶液及其应用有效
| 申请号： | 202010318020.9 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111364076B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 宗高亮;谢慈育;夏海;郝意 | 申请（专利权）人： | 深圳市板明科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02;C25D3/38 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 盲孔填 充电 镀铜 溶液 及其 应用 | ||
1.一种盲孔填充电镀铜溶液，所述电镀铜溶液中各组分含量如下：硫酸40-120g/L、五水合硫酸铜120-240g/L、氯离子40-80ppm、加速剂0.2-2mL/L、抑制剂10-30mL/L、整平剂1-10mL/L，其特征在于，所述整平剂为由异烟酸类化合物和低聚季胺化合物按照质量比为1:2-2:1的比例复配构成的水溶液，所述整平剂的溶质浓度为10g/L；所述低聚季胺化合物的平均分子量为600-1800；所述抑制剂的分子量为4000-10000；
所述异烟酸类化合物为2-氨基异烟酸、2,5-二氯异烟酸、2-(4-甲氧基苯基)异烟酸中的一种；所述低聚季胺化合物的结构式为：
其中，R为烷基链，烷基链的碳链链长范围为5-8；n的取值范围为1-6；
所述抑制剂为10g/L的聚乙二醇水溶液、10g/L的聚丙二醇-聚乙二醇-聚丙二醇三嵌段共聚物水溶液、10g/L的环氧乙烷-环氧丙烷嵌段共聚物水溶液中的一种。
2.如权利要求1所述的盲孔填充电镀铜溶液，其特征在于，所述加速剂为10g/L的醇硫基丙烷磺酸钠水溶液或10g/L的聚二硫二丙烷磺酸钠水溶液。
3.一种如权利要求1或2任一所述的盲孔填充电镀铜溶液的应用，其特征在于，应用于类载板盲孔填充；所述类载板盲孔填充的电镀工艺条件为：电流密度为0.5-5A/dm2，温度为10-40℃。
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