[发明专利]一种驱动器及变形镜

说明书

本发明公开了一种驱动器及变形镜，其中，堆叠式驱动器，包括：阵列排布的多个驱动单元(5)；多个所述驱动单元(5)的粘接面处于同一平面，且多个所述驱动单元(5)紧凑堆叠，成阵列排布。该结构是将促动单元进行封装，将驱动单元(5)堆叠后固定，该结构可以有效的解决促动器阵列装配后高度不一所引起的变形镜初始面型恶化的情况，而且封装后的驱动单元(5)能有效的避免促动器在装配和使用过程中的损坏，驱动单元(5)为模块化设计，结构紧凑合理，驱动能力强控制精度高而且线性度更好。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，具体涉及一种驱动器及变形镜。

背景技术

变形镜是自适应光学系统中最核心的元件，主要应用于各种自适应光学系统之中，作为波前校正器件校正波前误差，变形镜的性能参数决定了自适应光学系统的整体性能。

变形镜的基本原理是将引入畸变的扭曲波前相位恢复到理想波前，以平面波为例，当理想波前通过光学系统及其他非均匀传播介质到达变形镜镜面时，由于光学系统引入的相差和传播介质的扰动使得理想的平面波不再是严格的平面，波前发生了畸变。为了使扭曲的波前经过变形镜镜面反射恢复成理想的平面波，就需要调制变形镜镜面使其引入和扭曲波前互补的波前，简单来说对于波前相位超前的点所对应的变形镜镜面需要凹进；对于波前相位滞后的点所对应的变形镜镜面需要凹进凸起。变形镜是由促动器产生的力推动薄镜片发生形变，镜面可以为连续的薄反射面也可以为多块分立的小镜面。其中最常用的一种变形镜为连续镜面分立式驱动器类型，其优点是可以得到连续的面型，校正精度高，且补偿能力强能产生各种复杂的面型，所以这种变形镜成为应用最广泛，技术最成熟的一种波前校正器。

我国研制变形镜工作开展的较早，早在1979年中国科学院光电技术研究所就开始了压电变形镜的研制工作，在1981年成功研制出我国第一块4单元整体压电陶瓷变形镜，并于1986年将研制的19单元分立式压电驱动变形镜应用于“神光”激光和基本光学系统，该变形镜口径为78mm。

使变形镜镜面发生形变的动力来源为促动器，促动器的根据工作原理不同可分为许多种，常用的有压电陶瓷、音圈电机、伺服电机等。其中压电陶瓷由于其驱动能力强，控制精度高，响应速度快等优点应用的最为广泛。但压电陶瓷也有缺点，由于其结构特点使其在受到剪切力时非常容易发生不可逆转的损害，另外压电陶瓷材料的迟滞效应和蠕变现象也在由压电陶瓷直接驱动的变形镜中引入了不可忽略的形变，使变形镜控制精度下降。

发明内容

(一)发明目的

本发明的目的是提供一种驱动器及变形镜以解决现有技术的易损坏精度差的问题。

(二)技术方案

为解决上述问题，本发明的第一方面提供了一种堆叠式驱动器，包括：阵列排布的多个驱动单元；多个所述驱动单元的粘接面处于同一平面，且多个所述驱动单元紧凑堆叠，成阵列排布。

进一步地，所述驱动单元设置有传动推块；所述传动推块设置在所述驱动单元的粘接面，用于将所述驱动单元的位移输出。

进一步地，所述驱动单元设置有导向结构；所述向导结构用于限制所述传动推块在前后固定方向移动。

进一步地，所述驱动单元设置有位移缩放机构；所述位移缩放机构设置在所述驱动单元与所述传动推块之间，用于将所述驱动单元的位移按比例放大或者缩小，并传递给所述传动推块。

进一步地，所述驱动单元设置有位移反馈装置；所述位移反馈装置用于测量所述传动推块的位移。

进一步地，所述驱动单元设置有剪切力释放结构；所述剪切力释放结构用于释放所述促动器受到的剪切力。

本发明另一方面，提供了一种变形镜，设置有上述技术方案任一项所述的驱动器；所述驱动器与镜片连接。