[发明专利]基于物联网的磁控溅射现场灰尘浓度的监测方法及系统

说明书

本发明公开了一种基于物联网的磁控溅射现场灰尘浓度的监测方法，包括如下步骤：由灰尘监测装置监测磁控溅射现场的灰尘浓度；由灰尘监测装置监听由基站广播的第一系统信息；由灰尘监测装置判断第二系统信息的获取方式；如果判断第二系统信息是通过广播的方式获取的，则由灰尘监测装置继续监听由基站广播的第一系统信息；响应于再次监听到第一系统信息，由灰尘监测装置确定第一系统信息中包括的第二系统信息；响应于确定第二系统信息，由灰尘监测装置向基站发送随机接入前导码；响应于接收到随机接入前导码，由基站向灰尘监测装置发送随机接入响应；响应于接收到随机接入响应，由灰尘监测装置在上行链路授权上向基站发送争用解决请求消息。

技术领域

本发明是关于磁控溅射监测技术领域，特别是关于一种基于物联网的磁控溅射现场灰尘浓度的监测方法及系统。

背景技术

超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

现有技术CN105042699B公开了一种无尘室空气供应系统，包括外室，环绕于无尘室，与无尘室之间形成空气循环空间；室外空气供给单元，设于外室上端，与空气循环空间连通；微滤膜过滤器和至少一个循环风机，均设于无尘室和外室之间，其中微滤膜过滤器与无尘室内部连通；所述室外空气供给单元与外室之间设有进气阀。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基于物联网的磁控溅射现场灰尘浓度的监测方法及系统，其能够克服现有技术的缺点。

为实现上述目的，本发明提供了一种基于物联网的磁控溅射现场灰尘浓度的监测方法，包括如下步骤：由具有无线通信功能的灰尘监测装置监测磁控溅射现场的灰尘浓度；由灰尘监测装置监听由基站广播的第一系统信息，其中，第一系统信息中至少包括对于第二系统信息的指示以及对于如何获取第二系统信息的指示；响应于监听到第一系统信息，由灰尘监测装置判断第二系统信息的获取方式；如果判断第二系统信息是通过广播的方式获取的，则由灰尘监测装置继续监听由基站广播的第一系统信息；响应于再次监听到第一系统信息，由灰尘监测装置确定第一系统信息中包括的第二系统信息；响应于确定第二系统信息，由灰尘监测装置向基站发送随机接入前导码；响应于接收到随机接入前导码，由基站向灰尘监测装置发送随机接入响应，其中，随机接入响应中至少包括上行链路授权、定时提前值以及临时C-RNTI；响应于接收到随机接入响应，由灰尘监测装置在上行链路授权上向基站发送争用解决请求消息，其中，争用解决请求消息中包括基站给灰尘监测装置分配的临时C-RNTI；响应于接收到争用解决请求消息，由基站判断灰尘监测装置是否与其它无线通信装置发生争用；如果判断灰尘监测装置没有与其它无线通信装置发生争用，则由基站向灰尘监测装置发送争用解决消息，其中，争用解决消息包括基站给灰尘监测装置分配的临时C-RNTI；响应于接收到争用解决消息，由灰尘监测装置判断争用解决消息中是否包含基站给灰尘监测装置分配的临时C-RNTI；如果判断争用解决消息中是否包含基站给灰尘监测装置分配的临时C-RNTI，则由灰尘监测装置与基站建立RRC连接；响应于与基站建立RRC连接，由灰尘监测装置向基站发送所监测的磁控溅射现场的灰尘浓度。