[发明专利]一种纳米涂层厚度的检测方法在审
申请号: | 202010321439.X | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN111397519A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 梁瑜;汤昌仁;徐伟 | 申请(专利权)人: | 江西江钨硬质合金有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;C23C14/32;C23C14/58 |
代理公司: | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人: | 金一娴 |
地址: | 336000 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 涂层 厚度 检测 方法 | ||
1.一种纳米涂层厚度的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)对刀片表面进行净化处理;
2)将纳米涂层涂覆与刀片上,将涂覆好的刀片纵向切割;
3)再利用钳子将切割后的刀片掰开,得到平整基体和涂层的截面,结合背散射电子成像观测方法观测纳米涂层的厚度。
2.如权利要求1所述的一种纳米涂层厚度的检测方法,其特征在于,所述涂覆过程包括以下步骤:
a)将涂层放置真空室中进行处理;
b)向a步骤中的真空室内添加横向磁场,再采用阴极电弧离子镀进行离子沉积;
c)将b步骤中离子沉积后的涂层通过喷涂装置将涂层涂覆至刀片上。
3.一种纳米涂层厚度的检测装置,其特征在于,包括机架(4),所述机架的上方设置有用于传输刀片的传输装置和用于对刀片进行喷涂涂层的喷涂装置(3)。
4.如权利要求3所述的一种纳米涂层厚度的检测装置,其特征在于,所述传输装置包括第一传输带(1)和第二传输带(2),所述第一传输带(1)位于所述喷涂装置(3)的正下方,所述第二传输带(2)用于将喷涂后的刀片传输至下个作业上。
5.如权利要求4所述的一种均匀涂覆涂层的装置,其特征在于,所述机架(4)还包括用于对第二传输带(2)上喷涂后的刀片进行烘干的烘干装置(5)。
6.如权利要求4所述的一种纳米涂层厚度的检测装置,其特征在于,所述第一传输带(1)的下方设置有用于清洗第一传输带(1)残留涂层的清洗装置。
7.如权利要求6所述的一种均匀涂覆涂层的装置,其特征在于,所述清洗装置包括清洗件和用于清洗第一传输带(1)的清洗软布,所述清洗软布位于所述清洗件的输出端。
8.如权利要求7述的一种均匀涂覆涂层的装置,其特征在于,所述清洗件包括可往返运动的电动推杆(6)和位于电动推杆(6)输出端的固定板(7),所述清洗软布位于所述固定板(7)上。
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