[发明专利]一种超静真空测试装置及方法

权利要求书

1.一种超静真空测试装置，包括真空测试单元、载物平台单元和真空抽气单元；

真空测试单元包括测试真空罐(24)；

载物平台单元包括载物平台(23)；载物平台(23)设置在所述测试真空罐(24)内；

真空抽气单元包括真空罐(30)；

其特征在于：

还包括第一气浮平台和第二气浮平台；

第一气浮平台包括环形结构的第一支撑平板(13)以及设置在第一支撑平板(13)下端且均布设置的多个气缸单元；每个气缸单元包括至少一个第一气缸；

第二气浮平台包括第二支撑平板(18)以及设置在第二支撑平板(18)下端且均匀布置的多个第二气缸；第二支撑平板(18)位于第一支撑平板(13)内，二者之间具有间隙；

所述测试真空罐(24)通过鞍座支撑固定在所述第一支撑平板(13)上；

所述载物平台(23)通过支撑杆支撑固定在第二支撑平板(18)上，所述支撑杆的上部位于所述测试真空罐(24)内；在测试真空罐(24)与第二支撑平板(18)之间还设置有第一波纹管，且所述第一波纹管套设在所述支撑杆外；

所述测试真空罐(24)与真空罐(30)依次通过第一真空管道(27)、第二波纹管(28)、第二真空管道(29)相连通；在第一真空管道(39)还设置有真空阀门(39)。

2.根据权利要求1所述的超静真空测试装置，其特征在于：所述气缸单元有四个，沿同一圆周均布。

3.根据权利要求2所述的超静真空测试装置，其特征在于：每个气缸单元包括三个第一气缸；三个第一气缸沿第一支撑平板(13)的边缘向中部方向均匀布置。

4.根据权利要求3所述的超静真空测试装置，其特征在于：所述第二气缸至少有三个。

5.根据权利要求1-4任一所述的超静真空测试装置，其特征在于：所述第一波纹管至少有四个。

6.根据权利要求5所述的超静真空测试装置，其特征在于：所述真空抽气单元还包括分子泵(32)、干泵(34)和低温泵(36)；分子泵(32)和低温泵(36)并行设置，其一端均通过管路与真空罐(30)的出气端相连通，另一端均通过管路与干泵(34)的进气端相连通；在真空罐(30)与分子泵(32)之间、分子泵(32)与干泵(34)之间、真空罐(30)与干泵(34)之间、低温泵(36)与干泵(34)之间以及真空罐(30)与低温泵(36)之间、分别设置有第一真空阀门(31)、第二真空阀门(33)、第三真空阀门(35)、第四真空阀门(37)和第五真空阀门(38)。

7.根据权利要求6所述的超静真空测试装置，其特征在于：所述第一气缸由压缩空气驱动，压缩空气的压力不小于0.5MPa。

8.利用权利要求1-7任一所述的超静真空测试装置进行真空测试的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将试验品放置于载物平台(23)上，关闭测试真空罐(24)；

2)给第一气缸充气，当第一气缸压力达到0.4MPa时维持此压力，使测试真空罐(24)和载物平台(23)处于气浮状态；

3)打开真空阀门(39)，使测试真空罐(24)和真空罐(30)连通；

4)启动真空抽气单元给测试真空罐(24)和真空罐(30)抽气，当真空罐(30)内的压力达到高真空测试压力段10^-3Pa时便可开始测试。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：所述步骤4)具体为：

4.1)启动干泵(34)，打开第三真空阀门(35)，当真空罐(30)内的压力降至10Pa以下时打开第二真空阀门(33)，启动分子泵(32)；

4.2)当分子泵(32)完全启动后，打开第一真空阀门(31)，关闭第三真空阀门(35)，利用分子泵(32)给真空罐(30)抽真空；

4.3)当真空罐(30)内的压力降至8×10^-2Pa以下时启动低温泵(36)，关闭第一真空阀门(31)，打开第五真空阀门(38)，利用低温泵(36)抽真空；当真空罐(30)内的压力达到高真空测试压力段10^-3Pa时便可开始测试。