[发明专利]一种化学气相沉积炉的料柱压力调节装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，包括：中心位置设置有通孔的石墨盖板以及放置于所述通孔内的石墨球；

所述石墨盖板设置于化学气相沉积CVD炉中与进气方向相对一端的料柱端部，所述石墨盖板的通孔包括远离所述料柱一端的圆柱形孔和接近所述料柱的一端为锥形孔，所述石墨球设置于所述锥形孔内，且所述石墨球的底面与所述锥形孔的孔壁紧贴；

所述料柱压力调节装置，被配置为在开始工艺时，所述石墨球位于所述锥形孔内，在所述料柱的压力大于压力阈值时，所述石墨球被顶起使得所述石墨球与所述锥形孔分离开，所述料柱中的部分气体从所述压力调节装置中排出，使得所述料柱内部压力维持在预置范围内。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，

所述料柱压力调节装置，还被配置为通过所述石墨球与所述石墨盖板内锥形孔的分离排出所述料柱中的部分气体，使得所述料柱压力小于或等于所述压力阈值时，所述石墨球落回原位，与所述锥形孔的孔壁紧贴。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，所述石墨盖板的直径大于所述料柱的直径，用于在工艺过程中、且所述料柱压力小于或等于所述压力阈值时，与所述料柱形成密闭的腔体。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，所述石墨球产生的重力等于所述石墨球受到所述料柱内部气体的压力。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，所述石墨球的重量m等于所述料柱压强P，以及所述石墨球与所述锥形孔的接触面积S的乘积，m＝S*P。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，所述石墨球的重量为：

m＝2πR²(1-cosA)P；

其中，所述m为所述石墨球的重量，所述A为所述石墨球与所述石墨盖板的锥形孔接触点的切线与竖直方向的夹角，所述R为所述石墨球的半径，所述P为料柱压力。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，所述石墨盖板的厚度大于所述石墨球的直径。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的化学气相沉积炉的料柱压力调节装置，其特征在于，所述石墨球和所述石墨盖板的材料为高强度石墨。