[发明专利]一种闭环气体配比柜自动调节方法

权利要求书

1.一种闭环气体配比柜自动调节方法，其特征在于，包括：

第一进口（1），所述第一进口（1）通过第一过滤器（3）连接到平衡阀（5），第二进口（2），所述第二进口（2）通过第二过滤器（4）连接到平衡阀（5）；所述平衡阀（5）一路依次连接第一压力传感器（6）、第一流量计（8）、第一流量调节阀（10）和混配阀（12），另一路依次连接第二压力传感器（7）、第二流量计（9）、第二流量调节阀（11）和混配阀（12），所述混配阀（12）的出口依次连接电磁开关阀（13）、第三压力传感器（14）和气体出口（15），所述第三压力传感器（14）和气体出口（15）之间设置气体含量分析仪（18）；

所述第一压力传感器（6）、第二压力传感器（7）和第三压力传感器（14）分别连接控制器（16），所述控制器（16）分别连接触摸屏（17）、气体含量分析仪（18）、第一流量计（8）和第二流量计（9），所述控制器（16）依次连接第一伺服驱动器（19）、第一伺服电机（21）和第一流量调节阀（10），所述控制器（16）依次连接第二伺服驱动器（20）、第二伺服电机（22）和第二流量调节阀（11）；

混合后气体含量公式为：

M=N1/(N1+N2)=f（T1、T2、T3、H1、 H2）；

式中：M为两路气体混合后的比例，即气体含量分析仪（18）检测到的一路气体的含量，设定N1的那一路为气体含量分析仪（18）的检测路；

N1为第一流量计（8）检测到的一路气体的含量；

N2为第二流量计（9）检测到的另一路气体的含量；

T1为第一压力传感器（6）检测到的一路进入气体的压力；

T2为第二压力传感器（7）检测到的一路进入气体的压力；

T3为第三压力传感器（14）检测到的混合后气体的出口压力；

H1为第一流量调节阀（10）内阀芯的调节高度；

H2为第二流量调节阀（11）内阀芯的调节高度；

通过控制器16设定N2， T2和 H2到设定值后不变动，忽略T3对M的影响；

M= f（T1、H1）；

当T1不变动，M小于设定值时，控制器16控制 H1上升，增加M的含量；

当T1不变动，M大于设定值时，控制器16控制 H1下降，减小M的含量；

当T1变小，M小于设定值时，控制器16控制 H1上升，增加M的含量；

当T1变大，M大于设定值时，控制器16控制 H1下降，减小M的含量；

当T3对M的影响无法忽略时，通过控制器16设定N2，T2和 H2到设定值后不变动，忽略T1的变化：

M= f（H1、T3）；

当T3变化，M小于设定值时，控制器16控制 H1上升，增加M的含量；

当T3变化，M大于设定值时，控制器16控制 H1下降，减小M的含量。

2.根据权利要求1所述的一种闭环气体配比柜自动调节方法，其特征在于，所述第一流量调节阀（10）或第二流量调节阀（11）设置节流阀体（23），所述节流阀体（23）两端分别设置进气口（24）和出气口（25），内侧上部设置密封台（26），所述密封台（26）上方设置密封垫（27），所述密封台（26）和密封垫（27）中部贴合设置节流柱（28），所述节流柱（28）的上方设置齿轮齿条（29）的齿条，所述齿条的侧面设置齿轮齿条（29）的齿轮，所述齿轮齿条（29）的齿轮连接第一伺服驱动器（19）或第二伺服驱动器（20），所述第一流量调节阀（10）和第二流量调节阀（11）的节流柱（28）对应H1 、H2，所述H1的值通过齿轮齿条（29）的传动比、第一伺服驱动器（19）的脉冲信号值、第一伺服电机（21）的单步转角转换，所述H2的值通过齿轮齿条（29）的传动比、第二伺服驱动器（20）的脉冲信号值、第二伺服电机（22）的单步转角转换。

3.根据权利要求1所述的一种闭环气体配比柜自动调节方法，其特征在于，所述平衡阀（5）和第一过滤器（3）之间设置单向阀，所述平衡阀（5）和第二过滤器（4）之间设置单向阀。

4.根据权利要求1所述的一种闭环气体配比柜自动调节方法，其特征在于，所述节流柱（28）的下方为倒锥体。