[发明专利]一种基于微腔谐振选频的高性能窄带红外探测器

权利要求书

1.一种基于微腔谐振选频的高性能窄带红外探测器，包括低吸收红外探测器材料，绝缘介质和金属薄膜，其特征在于：

所述探测器的像元通过在低吸收红外探测器材料上制备的台面结构形成，而探测器像元的台面表面依次包覆有绝缘介质和金属薄膜，最后用绝缘介质和金属薄膜依次包覆探测器台面，绝缘介质用作表面金属和探测器材料之间的电学隔离并形成金属包覆的探测器微腔结构。

2.根据权利要求1所述的一种基于微腔谐振选频的高性能红外探测器，其特征在于，所述的低吸收红外探测器材料包含上、下电极层和吸收层，其中吸收层位于上下电极层之间，上电极层上有光栅结构；探测器材料的结构厚度，包括上、下电极层和吸收层厚度以及组分和掺杂浓度结构参数由探测波长以及谐振腔的谐振模式决定。

3.根据权利要求1所述的一种基于微腔谐振选频的高性能红外探测器，其特征在于，所述的探测器的像元结构参数，即上电极层中光栅的宽度，深度，周期以及台面的长度，宽度以及高度，由材料的吸收波长、吸收系数以及腔的谐振模式共同决定，并最终决定了探测器的响应强度和响应带宽。