[发明专利]一种高灵敏度高分辨率光谱仪在审
| 申请号： | 202010327975.0 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111623873A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 蒋霖坤;马宁 | 申请（专利权）人： | 苏州灵析精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 张伟洋 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市虎*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 高分辨率 光谱仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种高灵敏度高分辨率光谱仪，装置包括：狭缝、第一凹面反射镜、光栅、第二凹面反射镜、第二反射镜、孔、感光面，从狭缝入射的光被第一凹面反射镜反射准直，被光栅将不同波长衍射至不同角度，再被第二反射镜反射，其特征在于，第二反射镜是带孔反射镜，经第二反射镜反射的光束，被第二凹面反射镜反射后，穿过第二反射镜中的孔，不同波长聚焦于探测器的感光面不同位置。
2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度高分辨率光谱仪，其特征在于：第一凹面反射镜对称轴与光栅法线夹角0-10度之间。
3.根据权利要求1所述的一种高灵敏度高分辨率光谱仪，其特征在于：第二凹面反射镜称轴与感光面法线夹角0-10度之间。
4.根据权利要求1所述的一种高灵敏度高分辨率光谱仪，其特征在于：第二反射镜之后放置表面带有凹槽的消光件。
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