[发明专利]双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法及激光加工系统

权利要求书

1.一种双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、在第一反射镜的出光光路上设置第一光阑，在第二反射镜的入光光路上设置第二光阑，且第一光阑和第二光阑的中心线与C轴轴线重合；

步骤二、在第三反射镜的出光光路上设置聚焦镜，在双摆头激光加工头前安装光束质量分析仪，且光束质量分析仪的探测面与激光焦点重合；

步骤三、将第一光阑和第二光阑的孔径调至最大，不影响激光束指向的调节；

步骤四、激光器发出激光束，旋转A轴，A轴位于第二反射镜和第三反射镜之间的光路上，若激光束在光束质量分析仪上形成圆环形激光轨迹，则激光束轴线与C轴轴线存在夹角，调节第一反射镜的俯仰位置，直至激光束在光束质量分析仪上形成的圆环形激光轨迹的半径小于设定值，此时，激光束轴线与C轴轴线平行；

步骤五、A轴停止旋转，并逐渐缩小第一光阑和第二光阑的孔径，光束质量分析仪上的光斑图案会随着光阑孔径的缩小而逐渐缩小；

步骤六、若激光光斑中心与随着光阑孔径变化的光斑图案边沿同心，则激光束轴线与C轴轴线重合，若不是，调节第一反射镜的水平位置，直至激光光斑中心与随着光阑孔径变化的光斑图案边沿同心，此时，激光束轴线与C轴轴线重合，完成双摆头激光加工光束指向的调节。

2.根据权利要求1所述的双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法，其特征在于：步骤四中，具体通过调整第一反射镜的X向螺钉和Y向螺钉，实现第一反射镜的俯仰调节。

3.一种实现权利要求1或2所述双摆头激光加工光束指向的高精度调节方法的激光加工系统，包括沿光路依次设置的第一反射镜(2)、C轴(5)、第二反射镜(7)、A轴(8)和第三反射镜(9)，其特征在于：还包括第一光阑(3)、第二光阑(6)、聚焦镜(10)和光束质量分析仪(11)；

所述第一光阑(3)设置在第一反射镜(2)的出光光路上，所述第二光阑(6)设置在第二反射镜(7)的入光光路上设置上，且第一光阑(3)和第二光阑(6)的中心线与C轴轴线(4)重合；

所述聚焦镜(10)设置在第三反射镜(9)的出光光路上，所述光束质量分析仪(11)安装在双摆头激光加工头前，且光束质量分析仪(11)的探测面与激光焦点重合。