[发明专利]一种集成微色散透镜阵列面板和并行彩色共聚焦测量系统

权利要求书

1.一种集成微色散透镜阵列面板，其特征在于，包括：基片和微色散透镜阵列，所述微色散透镜阵列布设在所述基片上，所述微色散透镜阵列用于对复色光源发出的光进行分束和并行色散，所述基片用于固定所述微色散透镜阵列；所述微色散透镜阵列由若干个微色散透镜单元按阵列的方式排列组成；

各所述微色散透镜单元均采用折射型透镜，所述折射型透镜包括入射光面和出射光面，所述入射光面与所述基片相贴，所述出射光面面向被测物。

2.根据权利要求1所述的集成微色散透镜阵列面板，其特征在于，所述基片采用玻璃基片。

3.根据权利要求1所述的集成微色散透镜阵列面板，其特征在于，所述基片表面通过耦接方式与所述微色散透镜阵列相贴。

4.一种并行彩色共聚焦测量系统，其特征在于，包括：集成微色散透镜阵列面板和并行彩色共聚焦测量系统本体，所述集成微色散透镜阵列面板包括基片和微色散透镜阵列，所述微色散透镜阵列布设在所述基片上，所述微色散透镜阵列用于对复色光源发出的光进行分束和并行色散，所述基片用于固定所述微色散透镜阵列；所述微色散透镜阵列由若干个微色散透镜单元按阵列的方式排列组成；各所述微色散透镜单元均采用折射型透镜，所述折射型透镜包括入射光面和出射光面，所述入射光面与所述基片相贴，所述出射光面面向被测物；

所述并行彩色共聚焦测量系统本体包括从上至下依次排列的复色光源、分光镜、载物台以及在所述分光镜一侧依次排列的聚焦透镜、小孔阵列和彩色相机；

所述集成微色散透镜阵列面板位于所述分光镜和所述载物台之间；所述被测物放置在所述载物台上；

所述复色光源发出复色光线，通过所述分光镜到达所述集成微色散透镜阵列面板，由所述集成微色散透镜阵列面板同时实现分光和并行色散，将不同波长的光聚焦在各自轴向的不同高度处，光线到达被测物表面，并由所述被测物表面反射至所述分光镜中，由所述分光镜对光线再次进行反射，其中，聚焦在所述被测物表面的波长的光线，经反射后由所述聚焦透镜聚焦，通过所述小孔阵列，由所述彩色相机接收相应的彩色图像。

5.根据权利要求4所述的并行彩色共聚焦测量系统，其特征在于，所述载物台为二维运动载物台。

6.根据权利要求4所述的并行彩色共聚焦测量系统，其特征在于，所述小孔阵列和所述微色散透镜阵列成像在所述彩色相机上的光点具有一一共轭对应的关系。