[发明专利]一种多通道聚焦激光差分干涉仪

权利要求书

1.一种多通道聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，所述干涉仪包括发射光路和接收光路；所述发射光路包括：相干光源发生器、分束镜组(S)、反射镜组(M)、光学透镜组(C₁)、第一偏振片组(P₁)、第一棱镜组(W₁)和第一凸透镜组(C₂)，其中：

所述相干光源发生器用于发射一束相位相同且偏振方向一致的平行激光；

所述分束镜组(S)包括多个分束镜，用于将所述相干光源发生器发出的一束平行激光分为光强相等的N束平行激光，N等于通道数；

所述反射镜组(M)包括多个反射镜，用于改变所述平行激光的方向；

所述相干光源发生器发出的一束平行激光通过所述分束镜组(S)和所述反射镜组(M)后分为N束光强相等、方向相同的平行激光；每通道一束平行激光；

所述光学透镜组(C₁)包含N个光学透镜，所述光学透镜用于将各通道的平行激光束分别发散成为锥形激光束；

所述第一偏振片组(P₁)包含N个第一偏振片，所述第一偏振片用于滤除各通道锥形激光束中非线性偏振的干扰光线；

所述第一棱镜组(W₁)包含N个第一棱镜，所述第一棱镜用于根据双折射原理分别将各通道的线性偏振光分离为两束强度相同且偏振方向相互垂直的偏振光；

所述第一凸透镜组(C₂)包含N个第一凸透镜，所述第一凸透镜用于将各通道中两束偏振方向相互垂直的分离光束聚焦成两个分离的焦点，各通道两个分离的焦点处于聚焦区域(A)中；

所述接收光路包括第二凸透镜组(C₃)、第二棱镜组(W₂)、第二偏振片组(P₂)和N个光电接收器(D)，其中：

所述第二凸透镜组(C₃)包含N个第二凸透镜，所述第二凸透镜用于将各通道经过聚焦区域(A)后发散的激光束进行再聚焦；

所述第二棱镜组(W₂)位于所述第二凸透镜组(C₃)之后，与所述第一棱镜组(W₁)形成对称的反作用；所述第二棱镜组(W₂)包含N个第二棱镜，所述第二棱镜用于将各通道中两束分离光束进行合并；

所述第二偏振片组(P₂)包含N个第二偏振片，所述第二偏振片用于将合并后的光束进行混合，使混合后的光束能够进行相位干涉；

所述光电接收器(D)设置在各通道末端光束焦点位置，用于将光强信息转换为电信号。

2.根据权利要求1所述的一种多通道聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，所述分束镜的分束比取值范围为10:90～90:10。

3.根据权利要求1所述的一种多通道聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，所述光学透镜为凹透镜或凸透镜。

4.根据权利要求1所述的一种多通道聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，所述第一凸透镜和所述第二凸透镜的焦距和尺寸均相同。

5.根据权利要求1、3或4所述的一种多通道聚焦激光差分干涉仪，其特征在于，同一通道中，所述光学透镜，第一凸透镜和第二凸透镜之间的位置关系符合成像定理。