[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法和钢琴手套在审
申请号: | 202010329665.2 | 申请日: | 2020-04-23 |
公开(公告)号: | CN111552381A | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
发明(设计)人: | 娄正;沈国震;赵淑芳;冉文浩;王得鹏;尹瑞阳;闫勇旭 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G06F3/01 | 分类号: | G06F3/01;G06F3/041;G06F3/044;G01L1/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 钢琴 手套 | ||
1.一种电容式压力传感器,其特征在于,包括:
第一衬底;
第一电极,其设置在第一衬底上;
介电层,其设置在第一电极上;
第二电极,其设置在介电层上;以及
第二衬底,其设置在第二电极。
2.如权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征在于,
所述第一衬底采用的材料包括聚二甲基硅氧烷或硅胶;
所述第二衬底采用的材料包括聚二甲基硅氧烷或硅胶。
3.如权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征在于,
所述第一电极采用的材料包括金、银、铝或铬中的任一种;
所述第二电极采用的材料包括金、银、铝或铬中的任一种。
4.如权利要求1所述的电容式压力传感器,其特征在于,
所述介电层采用的材料是通过Ag纳米线与有机聚合物溶液经过静电纺丝得到的。
5.如权利要求4所述的电容式压力传感器,其特征在于,
所述有机聚合物包括热塑性聚氨酯弹性体橡胶、聚乙烯醇或聚偏氟乙烯中的至少一种。
6.一种如权利要求1至5任一项所述的电容式压力传感器的制备方法,包括:
在第一衬底上制备第一电极;
在第二衬底上制备第二电极;
制备介电层,将上述制备好的第一电极和第二电极分别转移至该介电层的两面后封装,即得到所述电容式压力传感器。
7.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,
所述介电层的制备方法包括:
将Ag纳米线溶液加入有机聚合物溶液中形成静电纺丝液;
将静电纺丝液纺丝后得到的纳米纤维材料,将纳米纤维材料制作成介电层。
8.如权利要求7所述的制备方法,其特征在于,
所述静电纺丝液中银纳米线的浓度为5至15mg/mL;有机聚合物的浓度为10至15mg/mL。
9.一种钢琴手套,其特征在于,包括:
如权利要求1至5任一项所述的电容式压力传感器或如权利要求6至8任一项所述制备方法得到的电容式压力传感器;
手机钢琴应用软件;以及
传感器信号采集和传输电路,其包括微处理单元、信号测量电路和无线传输模块,无线传输模块实现电路板与手机钢琴软件之间的信息传输和控制。
10.如权利要求9所述的钢琴手套,其特征在于,
所述的钢琴手套中含有10个该电容式压力传感器;
所述电容式压力传感器与信号采集和传输电路之间通过杜邦线连接。
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