[发明专利]光学位移计

权利要求书

1.一种光切法的光学位移计，用于基于三角测量的原理来测量沿Y方向输送的测量对象的X-Z截面的轮廓，所述光学位移计包括：

光源，用于利用在X方向上具有宽度的狭缝光来照射所述测量对象；

图像传感器，用于接收来自所述测量对象的反射光，所述图像传感器具有沿与所述X方向相对应的U方向和与Z方向相对应的V方向二维排列的多个像素并且输出所述多个像素对所述反射光的光接收量；

检测单元，用于针对沿所述U方向排列的多个像素列中的各像素列，将作为所述光接收量的峰的所述V方向上的像素的位置检测为峰位置；以及

生成单元，用于根据所述U方向上的所述多个像素列的各位置和所述V方向上的所述峰位置来生成所述X-Z截面的轮廓，

其中，所述图像传感器在执行合并以使所述V方向上的分辨率低于所述U方向上的分辨率之后，输出光接收量。

2.根据权利要求1所述的光学位移计，其中，针对所述图像传感器的所述U方向和所述V方向之间的合并比为1:n，并且所述图像传感器被配置为针对沿所述V方向排列的每n个像素输出一个光接收量，其中n是2或更大的整数。

3.根据权利要求1所述的光学位移计，还包括选择单元，所述选择单元用于接收高速模式或高精度模式的选择，在所述高速模式中，执行合并并加快从所述图像传感器的光接收量的读取，在所述高精度模式中，在不执行合并的情况下进行从所述图像传感器的光接收量的读取。

4.根据权利要求3所述的光学位移计，还包括选择单元，所述选择单元用于选择1:n和1:m中的任一个作为所述U方向和所述V方向之间的合并比，其中m是大于n的整数。

5.根据权利要求1所述的光学位移计，其中，所述图像传感器被设置成在所述V方向上执行合并，而在所述U方向上不执行合并。

6.根据权利要求1所述的光学位移计，其中，所述检测单元被配置为通过对所述V方向上的多个光接收量进行子像素处理来确定表示所述V方向上的光接收量的变化的近似曲线，并且基于所述近似曲线来检测作为光接收量的峰的所述峰位置。

7.根据权利要求1所述的光学位移计，还包括显示单元，所述显示单元用于显示示出所述X-Z截面的轮廓的图像，

其中，所述显示单元显示通过基于所述U方向上的分辨率和所述V方向上的分辨率之间的比而在所述V方向上拉伸所述图像所生成的轮廓图像。