[发明专利]致动传感模块

权利要求书

1.一种致动传感模块，包含：

一底板，具有至少一接脚沟渠、一凹槽、一出气口及一泄气口；

至少一接脚，设置于该至少一接脚沟渠；

一控制芯片，设置于该凹槽；

一隔板，叠设于该底板，具有一出气开口及一泄压通孔，该出气开口与该出气口相连通，该泄压通孔与该泄气口对应；

一气压传感器，容设于该出气开口；

一薄型气体传输装置，设置于该隔板且封盖该出气开口及该泄压通孔；以及

一盖板，设置于该隔板，且具有一开口供该薄型气体传输装置穿设；

其中，通过该薄型气体传输装置将气体输送至该出气开口，由该出气开口的该气压传感器检测气体的气压变化。

2.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该气压传感器位于该控制芯片上方。

3.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该出气口连接一正压负载。

4.如权利要求3所述的致动传感模块，其特征在于，该正压负载为一气囊。

5.如权利要求3所述的致动传感模块，其特征在于，该正压负载为一气瓶。

6.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该薄型气体传输装置连接一负压负载。

7.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该负压负载为一气囊。

8.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该负压负载为一气瓶。

9.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该薄型气体传输装置，包含：

一薄型气体泵，包含：

一进气板，具有：

一第一表面；

一第二表面，与该第一表面相对；

多个进气孔，分别由该第一表面贯穿至该第二表面；

一汇流腔室，自该第二表面凹陷形成，且位于该第二表面中央；以及

多个进气流道，自该第二表面凹陷形成，其一端分别连接该多个进气孔，另一端连接至该汇流腔室；

一共振片，结合至该第二表面，具有：

一中心孔，位于该共振片中央处；

一振动部，位于该中心孔周缘，并与该汇流腔室对应；以及

一固定部，位于该振动部外缘，且该共振片透过该固定部结合至该进气板；

一致动件，结合至该共振片的该固定部；

一第一绝缘框架，结合该致动件；

一导电框架，结合该第一绝缘框架；以及

一第二绝缘框架，结合该导电框架；以及

一薄型阀门结构，结合该第二绝缘框架，具有：

一第一薄板，具有一挖空区；

一阀门框架，具有一阀片容置区；

一阀门片，设置于该阀片容置区内，具有一阀孔，该阀孔与该挖空区错位；以及

一第二薄板，具有：

一出气表面；

一泄压表面，与该出气表面相对；

一出气凹槽，自该出气表面凹陷，并与该第一薄板的该挖空区部分错位；

一出气孔，自该出气凹槽朝该泄压表面挖空，此外，该出气孔与该阀孔对应设置；

一泄压孔，与该出气凹槽间隔设置；以及

一泄压沟渠，自该泄压表面凹陷，并与该泄压孔相连通；

其中，该第一薄板、该阀门框架及该第二薄板依序堆叠固定。

10.如权利要求9所述的致动传感模块，其特征在于，该致动件包含：

一振动板，呈一正方形；

一框架，环绕于该振动板的外围；

多个连接部，分别连接于该振动板与该框架之间，以弹性支撑该振动板；以及

一压电片，形状与面积与该振动板对应，且贴附于该振动板。

11.如权利要求9所述的致动传感模块，其特征在于，该出气孔其孔径大于该阀孔的孔径。