[发明专利]一种电动靶驱动组件及透射式X射线管

说明书

本发明公开一种电动靶驱动组件及透射式X射线管，包括射线源外壳、波纹管、靶座、窗口靶、导向组件和滚动组件；靶座的上部气密性连接窗口靶，靶座的下部气密性连接波纹管的上部，波纹管下部气密性连接在射线源外壳上；滚动组件与波纹管的上下两端面连接，导向组件与靶座连接；本发明通过滚动组件、导向组件构成滚动支撑，支撑真空下靶座所承受的压力，保证靶座的位置稳定；同时在导向组件、驱动组件构成两维位移机构，实现窗口靶两维微位移的精确控制，避免窗口靶使用一段时间后，靶出现衰退的情况，可以通过对波纹管的折弯，实现电子束在透射窗上轰击位置的移动，从而使X射线可以连续产生。

技术领域

本发明涉及X射线成像技术领域，具体涉及一种电动靶驱动组件及透射式X射线管。

背景技术

X射线源是X射线成像系统的核心部件，广泛应用于电子封装检测、医疗成像等领域，其基本原理是利用射线源内部场致发射或热电子发射产生的高能电子束，轰击镀钨金刚石片制成的窗口靶产生X射线，产生的X射线透过窗口靶向外辐射。由于金刚石窗口的钨层长期受到高能电子束轰击，会造成镀层点蚀，从而丧失靶功能。为了保证射线源能长期稳定工作，需要定期转移电子束在靶上的聚焦点，避免电子束在某一靶点连续轰击。

在使用过程中，高能电子束轰击需在真空环境下进行，而常规的设备难以在真空环境下实现靶材的位移，部分可实现靶材真空环境下位移的设备其调节时间过长同时精度不高。

鉴于上述缺陷，本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。

发明内容

为解决上述技术缺陷，本发明采用的技术方案在于，提供一种电动靶驱动组件，包括射线源外壳、波纹管、靶座、窗口靶、导向组件和滚动组件；所述靶座的上部气密性连接所述窗口靶，所述靶座的下部气密性连接所述波纹管的上部，所述波纹管下部气密性连接在所述射线源外壳上；所述滚动组件与所述波纹管的上下两端面连接，所述导向组件与所述靶座连接。

较佳的，所述波纹管的下端面设置有第一环形法兰，上端面设置有第二环形法兰；所述第二环形法兰和所述靶座固定连接，所述第一环形法兰固定设置在所述射线源外壳上。

较佳的，所述导向组件包括第一安装板、第一微型导轨、运动块、第二微型导轨、第二安装板，所述第一安装板固定设置在所述第一环形法兰上，所述第二安装板设置在所述第二环形法兰上，所述第一微型导轨固定设置在所述第一安装板上，所述第二微型导轨固定设置在所述第二安装板上，所述运动块与所述第一微型导轨、所述第二微型导轨均活动连接，且所述运动块可沿所述第一微型导轨、所述第二微型导轨自由滑动。

较佳的，所述第一微型导轨与所述第二微型导轨不平行设置。

较佳的，所述导向组件上设置有驱动组件，所述驱动组件包括第一制动件、第二制动件；所述第一制动件固定设置在所述第一安装板上，所述第一制动件的驱动轴和所述运动块连接，驱动方向与所述第一微型导轨的延伸方向一致；所述第二制动件与固定设置在所述第二安装板上，所述第二制动件的驱动轴和所述运动块连接，驱动方向与所述第二微型导轨的延伸方向一致。

较佳的，所述滚动组件包括万向球、球座和滚动板；所述万向球设置在所述球座上，所述滚动板和所述球座分别设置在所述第一环形法兰和所述第二环形法兰上，所述万向球可在所述球座内自由转动；所述万向球和所述滚动板端面接触设置且可在所述滚动板端面上自由滚动。

较佳的，所述导向组件和所述滚动组件的总量不少于3个，且所述导向组件和所述滚动组件的数量均不少于1个。

较佳的，所述滚动组件和所述导向组件在所述第二环形法兰和所述第一环形法兰上圆周均布。

较佳的，所述滚动组件在在所述第二环形法兰和所述第一环形法兰上圆周均布，所述导向组件采用步进电机。