[发明专利]晶圆片腐蚀清洗笼

权利要求书

1.一种晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：包括笼体框架及驱动组件两部分组成；所述笼体框架由多块晶圆片隔板及多根开齿连接轴（1）组成，多块所述晶圆片隔板上均开设有一条相同的滑动限位槽（4），多块所述晶圆片隔板间平行设置并连接形成一个整体，其中一根所述开齿连接轴（1）可活动地按序依次穿设于多块所述晶圆片隔板上的所述滑动限位槽（4）内；所述驱动组件包括至少一组传动齿轮组，每组所述传动齿轮组均包括一个主动齿轮（6）及多个从动齿轮（7），每个所述从动齿轮（7）均固定设置于一根所述开齿连接轴（1）的端部，所述主动齿轮（6）与所述从动齿轮（7）间啮合传动。

2.根据权利要求1所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：所述多块晶圆片隔板包括两块外侧隔板（2）及多块中间隔板（3），多块所述中间隔板（3）排列设置于两块所述外侧隔板（2）之间且相邻两块所述中间隔板（3）间的间距相等。

3.根据权利要求2所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：所述多块晶圆片隔板包括两块外侧隔板（2）及三块中间隔板（3），三块所述中间隔板（3）排列设置于两块所述外侧隔板（2）之间且相邻两块所述中间隔板（3）间的间距相等；两块所述外侧隔板（2）及三块所述中间隔板（3）之间通过一刚性连接件连接固定、形成一个整体。

4.根据权利要求3所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：所述刚性连接件为至少一根刚性轴（5），所述刚性轴（5）按序依次穿过两块所述外侧隔板（2）及三块所述中间隔板（3）并与各块所述晶圆片隔板间固定连接。

5.根据权利要求3所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：每块所述外侧隔板（2）及每块所述中间隔板（3）上均开设有一条相同的滑动限位槽（4）及两个连接轴定位孔；在所述笼体框架的组合状态下，两块所述外侧隔板（2）及三块所述中间隔板（3）上的滑动限位槽（4）及连接轴定位孔在平行于其设置方向上的投影均相互重合。

6.根据权利要求5所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：所述滑动限位槽（4）的槽体宽度与所述开齿连接轴（1）的直径相匹配，所述滑动限位槽（4）的槽体一侧顶端为锁定端、所述滑动限位槽（4）的槽体另一侧顶端为调整端；所述连接轴定位孔的孔径与所述开齿连接轴（1）的直径相匹配。

7.根据权利要求6所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：所述笼体框架内包含有三根所述开齿连接轴（1），三根所述开齿连接轴（1）按序依次穿过两块所述外侧隔板（2）及多块所述中间隔板（3），其中两根所述开齿连接轴（1）分别借助两个所述连接轴定位孔的完成固定连接，另外一根所述开齿连接轴（1）可活动地设置于所述滑动限位槽（4）内；当所述开齿连接轴（1）活动至所述滑动限位槽（4）的调整端时，三根所述开齿连接轴（1）轴心间的连线呈等边三角形。

8.根据权利要求7所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：每块所述外侧隔板（2）上、靠近所述中间隔板（3）的一侧端面上固定设置有用于锁定所述开齿连接轴（1）位置的连接轴卡槽（8），所述连接轴卡槽（8）的位置与所述滑动限位槽（4）锁定端的位置相匹配。

9.根据权利要求8所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：所述驱动组件包括两组传动齿轮组，两组所述传动齿轮组分别设置于两块所述外侧隔板（2）、远离所述中间隔板（3）的一侧端面位置，每组所述传动齿轮组均包括一个主动齿轮（6）及三个从动齿轮（7），每个所述从动齿轮（7）均分别固定设置于一根所述开齿连接轴（1）的端部，所述主动齿轮（6）与所述从动齿轮（7）间啮合传动。

10.根据权利要求9所述的晶圆片腐蚀清洗笼，其特征在于：所述从动齿轮（7）与所述笼体框架间保持相对固定；每个所述主动齿轮（6）上连接有一根用于带动其转动的传动轴（9），所述传动轴（9）的一端与所述主动齿轮（6）的中心固定连接、所述传动轴（9）的另一端连接有外部驱动设备；在使用状态下，所述主动齿轮（6）旋转带动所述从动齿轮（7）旋转、所述从动齿轮（7）旋转带动所述笼体框架整体旋转。