[发明专利]一种声表面波固态电场传感器

权利要求书

1.一种声表面波固态电场传感器，其特征在于，包括声表面波延迟线和敏感电极，所述声表面波延迟线包括衬底、压电元件、叉指换能器和感测区反射栅；

所述压电元件布置于所述衬底上表面；所述敏感电极布置在压电元件上表面形成感测区，所述压电元件上表面还制备有叉指换能器和感测区反射栅，所述叉指换能器和感测区反射栅相对设置在所述感测区的两侧，所述叉指换能器的电端口通过阻抗网络连接到天线；所述压电元件与所述敏感电极之间设置绝缘层。

2.根据权利要求1所述的一种声表面波固态电场传感器，其特征在于，所述压电元件位于感测区部分的下面也设置敏感电极，其与压电元件位于感测区部分的上面设置的敏感电极位置相对应形成敏感电极对。

3.根据权利要求2所述的一种声表面波固态电场传感器，其特征在于，所述压电元件上方和下方设置有绝缘层，所述绝缘层位于所述敏感电极之间。

4.根据权利要求1~3任意一项权利要求所述的一种声表面波固态电场传感器，其特征在于，所述声表面波固态电场传感器还包括布置于压电元件上表面的补偿区反射栅，所述补偿区反射栅设置在与感测区反射栅相对的叉指换能器的另一侧，所述补偿区反射栅和所述叉指换能器之间形成环境补偿区；所述压电元件布置补偿区反射栅、环境补偿区和叉指换能器的部分的上方和下方均设置屏蔽电极，所述屏蔽电极通过外电路进行短路连接。

5.根据权利要求4所述的一种声表面波固态电场传感器，其特征在于，所述压电元件上方和下方设置有绝缘层，所述绝缘层位于所述屏蔽电极之间。

6.根据权利要求4所述的一种声表面波固态电场传感器，其特征在于，所述补偿区反射栅与叉指换能器之间的距离与感测区反射栅

和叉指换能器之间的距离不同。

7.根据权利要求1所述的一种声表面波固态电场传感器，其特征在于，所述压电元件为压电薄膜或压电基片。