[发明专利]一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法有效

专利信息
申请号: 202010333296.4 申请日: 2020-04-24
公开(公告)号: CN111560615B 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 陆柏灿;沈天晓;朱振华;何天阳 申请(专利权)人: 励福(江门)环保科技股份有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25C1/12;C01G49/10;C22B15/00;C22B7/00
代理公司: 广州浩泰知识产权代理有限公司 44476 代理人: 张金昂
地址: 529040 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 酸性 蚀刻 废液 在线 回收 氯气 再生 方法
【说明书】:

发明提供了一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法,包括以下步骤:蚀刻废液电解、蚀刻液再生、阴极铜回收、铜还原、固液分离、氯气吸收、尾气处理;将一部分酸性蚀刻废液输送至反应釜中进行铜还原,即在隔膜电积法的基础上增加了铁粉还原法,通过加入铁粉,将酸性蚀刻废液中的铜离子还原成铜粉,溶液转换成为氯化亚铁溶液,氯化亚铁溶液用于吸收残余氯气或者作为产品,为电解模块与蚀刻制程溶液的闭路循环系统提供了开路,解决系统盐分过高、杂质累积、蚀刻速率下降的问题,避免了蚀刻制程溶液的增量,提高了铜的回收率。

技术领域

本发明涉及蚀刻废液回收技术领域,尤其是一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法。

背景技术

在工业生产尤其是PCB的生产中,酸性蚀刻一种常见的蚀刻方式。酸性蚀刻主要是应用酸性氯化物蚀刻液体系来蚀刻覆铜板上的铜,同时应用循环电解的技术来电沉积蚀铜后蚀刻液中的铜,以保证蚀刻液中的铜含量的平衡浓度,同时恢复其蚀铜的各项技术参数,如二价铜离子的浓度,酸度,氧化还原电位等,使经过电化学再生的蚀刻液重新返回PCB生产线,进行蚀铜的操作,达到循环应用的目的。

隔膜电积法再生酸性蚀刻废液的特点是工艺流程简单,蚀刻液循环回用率率高,产出阴极铜附加值高等原因已广泛用于酸性蚀刻废液回收铜;而隔膜电积法再生蚀刻废液过程中产生氯气,氯气处理成本居高不下,再生液返回蚀刻系统,蚀刻液体积膨胀,蚀刻液需定期外排。且隔膜电积法还存在着如下问题:

(1)因回用过程,追求高的回用率,使蚀刻液的盐分逐渐提高,易出现结晶的问题;

(2)蚀刻液在电解时,铜在阴极析出,但各种金属杂质留在蚀刻液中并逐渐积累,导致蚀刻速率有所降低;

(3)再生液回用到蚀刻制程,仍然需要补加一定量的氧化剂和盐酸,所以蚀刻液会有增量,增量约为蚀刻液产生量的30-40%。

发明内容

为了解决现有隔膜电积法存在的不足从而提高铜的回收率的问题,本发明提供了一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法。

为了实现以上目的,本发明是通过如下技术方案来实现:

本发明的目的在于提供一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法,包括以下步骤:

(1)蚀刻废液电解:将一部分蚀刻生产线产生的酸性蚀刻废液输送至隔膜电积槽中,在30-50℃下,通入直流电,在阴极产生单质铜,在阳极产生氯气,还有酸性蚀刻废液被电解后的电积废液;

(2)蚀刻液再生:将步骤(1)中的电积废液和氯气加入氯气溶解吸收槽中,之后加入盐酸及氯酸钠调整酸度及ORP值后形成新的蚀刻液,新的蚀刻液最后直接返回蚀刻生产线中重新利用;

(3)阴极铜回收:步骤(1)中产生的单质铜,经5—7天的生产周期后,经人工剥离获得铜片;

(4)铜还原:将另一部分蚀刻生产线产生的酸性蚀刻废液输送至反应釜中,在40—70℃下,加入还原剂反应2—4小时;

(5)固液分离:将步骤(4)中进行反应后的浊液经压滤机分离,得海绵铜及氯化亚铁溶液;

(6)氯气吸收:将步骤(2)回用剩余的氯气引入尾气吸收塔,用步骤(5)的溶液进行气液反应,得到氯化铁溶液;

(7)尾气处理:将步骤(6)的尾气抽入碱液喷淋塔净化处理、达标后排放。

进一步的,步骤(1)中电积的电流密度为100—300A/㎡;电流密度是电积的重要参数,在这个范围内能得到质量较好的阴极铜,提高了铜的回收质量,有利于产生。

进一步的,步骤(1)和步骤(4)是同时进行的;加快生产回收利用的速度,提高生产效率。

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