[发明专利]用于衬底容器的吹扫连接器及模块

权利要求书

1.一种衬底容器，其包括：

容器壳体，其包含壁及由所述壁界定的内部空间，所述容器壳体进一步包含具有第一内径的壳体开口；

板，其经配置以固定到所述壳体，所述板包含表面、来自第一表面的凹部，及位于所述凹部内的具有第二内径的板开口；

连接器，其包含具有小于所述第一内径及所述第二内径的外径的部分、具有第三内径的中空部分、具有大于所述第一内径的外径的第一端，及具有螺纹的第二端；

螺母，其具有经配置以接合所述连接器上的所述螺纹的螺纹；及

密封件，其安置在所述容器壳体与所述板之间，

其中所述连接器的所述第一端位于所述容器壳体的第一侧上，且所述连接器的所述第二端、所述密封件及所述板位于所述容器壳体的与所述容器壳体的所述第一侧相对的第二侧上，

其中所述连接器延伸通过所述壳体开口及所述板开口，且

其中当所述螺母螺合到所述连接器上并拧紧时，所述密封件接触所述容器壳体、所述板及所述连接器中的每一者。

2.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述连接器上的所述螺纹及所述螺母上的所述螺纹中的至少一者包含锁定机构。

3.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述密封件是o形环。

4.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述连接器进一步包括：滤膜，其位于所述连接器的所述第一端处；滤网；及滤帽，其经配置以机械地接合所述连接器的所述第一端并将所述滤网及所述滤膜紧固到所述连接器的所述端。

5.根据权利要求1所述的衬底容器，其进一步包括前吹扫模块，所述前吹扫模块包含止回阀及喷嘴，所述喷嘴包含具有小于所述第三内径的外径的端，其中所述前入口吹扫模块经定位使得所述喷嘴的所述端在所述连接器的所述中空部分内。

6.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述连接器包含具有开口的出口，其中所述开口的中心偏离所述连接器的所述内径的中心。

7.根据权利要求1所述的衬底容器，其中当所述螺母螺合到所述连接器上时，所述螺母及所述连接器的所述第二端完全位于所述凹部内。

8.根据权利要求1所述的衬底容器，其进一步包括后吹扫入口模块，所述后吹扫入口模块包含：

索环，其包含止回阀；

滤膜；

网格，其经配置以支撑所述滤膜；及

后吹扫入口模块主体，其包含具有大于所述索环的外径的内径并经配置以接纳所述索环的部分，及具有小于所述第三内径的外径的喷嘴，且其中所述喷嘴的端位于所述连接器内。

9.根据权利要求8所述的衬底容器，其中所述索环是包含衬底及弹性体组件的包覆成型索环。