[发明专利]适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块

说明书

本发明涉及一种探针模块，用于同时检测侧边缘相邻的第一、二待测单元，第一、二待测单元分别具有邻近其第一主边缘及相邻侧边缘的第一、二交界接点；所述探针模块包含有一探针座，以及设于所述探针座的不同高度的第一、二交界探针，当所述探针模块检测第一、二待测单元时，各所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述探针座，第一、二交界探针以其悬臂段分别经过第一、二待测单元的第一主边缘上方而分别延伸至第一、二交界接点上方进而以其点触段点触第一、二交界接点；由此，第一、二交界探针可避免相互干涉。

技术领域

本发明与探针卡的探针模块有关，特别是指一种适用于具有倾斜导电接点的多待测单元(multi-UUT)的探针模块。

背景技术

请参阅图1，其中显示一具有倾斜导电接点的待测单元10(unit under test；简称UUT)，待测单元10可为未封装的芯片(die)或已封装的芯片(chip)，待测单元10具有排成一或多行的多个用于输出讯号的第一导电接点11，以及排成一行的多个用于输入讯号的第二导电接点12，例如图1所示的待测单元10具有由其一基板13的一第一长边131朝向一第二长边132排列的三行第一导电接点11，以及沿基板13的第二长边132设置的一行第二导电接点12，各第一、二导电接点11、12排成多列，每一列的排列方向实质上平行于一垂直于第一、二长边131、132的假想分界轴线L，且靠近假想分界轴线L的列，例如图1中一中间区块14所包含的，其中的第一、二导电接点11、12的长边111、121实质上平行于假想分界轴线L，而距离假想分界轴线L较远的列的第一、二导电接点11、12则为倾斜导电接点，其较靠近基板13第一长边131的一端也较靠近假想分界轴线L，较远离基板13第一长边131的一端则也较远离假想分界轴线L，即倾斜导电接点以图1的方向来看是由上而下且由内而外地倾斜，且距离假想分界轴线L越远的第一、二导电接点11、12相对于假想分界轴线L的角度越大，例如图1中二外侧区块15、16所包含的第一、二导电接点11、12的长边111、121相对于假想分界轴线L的角度θ1、θ2最大。

待测单元10可利用具有悬臂式探针的探针卡进行检测，为简化图式，图1中仅示意性地显示一对应最左边的第二导电接点12的探针17，实际上每一导电接点11、12均对应一探针，探针17的悬臂段171可自一位于待测单元10的第二长边132外侧上方的探针座18延伸至导电接点12上方，使得探针17的一自其悬臂段171末端向下延伸的点触段(图中未示)可点触对应的导电接点12。

然而，由于待测单元10具有倾斜角度不一致的倾斜导电接点，其检测所需的探针难以配置于探针座上，尤其对于多待测单元的检测，即同时检测至少二待测单元10，将会有探针17相互干涉的疑虑，因此目前仍未有适用的检测装置。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种探针模块，其适用于类同上述的具有倾斜导电接点的多待测单元的检测，以避免探针相互干涉。