[发明专利]一种无掩模板光刻装置

说明书

本发明涉及一种无掩模板光刻装置，包括光学面包板，光学面包板的一侧设置有光源支撑板，光源支撑板上设置有光源模组，光学面包板上设置有光学引擎模组，贴合于光源模组且还位于同一轴线，光源模组的光源输出端连通至光学引擎模组的光源进入端，光学引擎模组的光源输出端上设置有镜筒，与光学引擎模组呈垂直设置，镜筒连通至第一反射镜模组，光学面包板上设置有第二反射镜模组，与第一反射镜模组相对间隔设置，光学面包板上设置有照明支撑板，与第二反射镜模组相对，且在照明支撑板和第二反射镜模组之间设置有导向轴，与第一反射镜模组和镜筒构成平行设置，成像模组穿接在导向轴上，呈竖直设置。本发明能依据需求进行任意改动，方便其灵活性。

技术领域

本发明属于光刻领域，尤其涉及一种无掩模板光刻装置。

背景技术

在当今与纳米科学相关的研究中，紫外光刻技术扮演着不可或缺的角色。简而言之，光刻技术是一种选择性地将紫外光照射到光敏薄膜上的技术，同时根据光致抗蚀剂的类型，可以通过适当的剥离工艺去除曝光或未曝光的区域。通过这种方法，可以将设计的图案转移到基底上，以进行后续的器件制备。在常规光刻工具中，例如掩模板，需要量身定制，这对于批量生产是非常有效的。但是图形设计上的任何改动都需要重新定制掩模板，所以缺乏成本效益和灵活性。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的是提供一种无掩模板光刻装置。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种无掩模板光刻装置，包括光学面包板，所述光学面包板的一侧设置有光源支撑板，所述光源支撑板上设置有光源模组，所述光学面包板上设置有光学引擎模组，贴合于光源模组且还位于同一轴线，所述光源模组的光源输出端连通至光学引擎模组的光源进入端，所述光学引擎模组的光源输出端上设置有镜筒，与光学引擎模组呈垂直设置，所述镜筒连通至第一反射镜模组，所述光学面包板上设置有第二反射镜模组，与第一反射镜模组相对间隔设置，所述光学面包板上设置有照明支撑板，与第二反射镜模组相对，且在照明支撑板和第二反射镜模组之间设置有导向轴，与第一反射镜模组和镜筒构成平行设置，成像模组穿接在导向轴上，呈竖直设置。

优选地，所述的一种无掩模板光刻装置，所述光源模组包括光源安装座，所述光源安装座的顶面上设置有二向色镜安装座，所述二向色镜安装座上设置有二向色镜，且位于光源安装座内的对角线处，所述光源安装座相邻的一两侧上设置有LED安装座，且在LED安装座上设置有LED灯，LED灯的光源朝向二向色镜，所述光源安装座相邻的另一两侧上设置有第一光源安装座挡板和第一透镜组，所述光源安装座的底面上设置有第二光源安装座挡板，所述LED安装座上通过连接板设置有散热连接管，所述散热连接管与散热器相连，并通过散热器和散热连接管将光源安装座悬空于光学面包板上。

优选地，所述的一种无掩模板光刻装置，所述光源模组与光学引擎模组之间还设置有遮光罩。

优选地，所述的一种无掩模板光刻装置，所述光学引擎模组包括光学引擎底板，所述光学引擎底板上设置有光学引擎外壳，所述光学引擎外壳内设置有光学引擎安装板，所述光学引擎安装板的正面上设置有棱镜，倾斜位于光学引擎安装板的中下端，所述光学引擎安装板上设置有第二透镜组，位于棱镜的上方，所述光学引擎外壳的一侧设置有通孔，通孔内穿接有导光柱，位于第一透镜组与第二透镜组之间，所述光学引擎安装板的正面上设置有反射镜安装块，通过螺钉固定在光学引擎外壳上，所述反射镜安装块上通过反射镜镜架设置有光学引擎反射镜，与第二透镜组同一轴线，同时还配合于棱镜，所述光学引擎安装板的背面上通过DLP安装板设置有DLP电路板。

优选地，所述的一种无掩模板光刻装置，所述DLP电路板通过隔离柱固设在光学引擎安装板的背面上。

优选地，所述的一种无掩模板光刻装置，所述第一反射镜模组和第二反射镜模组为形同的结构设置，均包括反射镜底座，所述反射镜底座上设置有反射镜安装座，所述反射镜安装座内设置有反射镜。