[发明专利]一种压电式微镜的结构及制备方法

权利要求书

1.一种压电式微镜的结构，其特征在于：所述的压电式微镜的结构，包括衬底晶圆(1)，空腔(2)，反射镜金属表面(3)，悬臂梁结构(4)，金属连接线(5)，压电薄膜(6)，盖板晶圆(8)，键合界面(9)，吸气剂盒(7)；

其中：衬底晶圆(1)作为微镜的支撑与结构层，空腔(2)在沉积晶圆(1)上，为凹槽结构，在晶圆键合后形成空腔(2)；反射镜金属表面(3)是布置在微镜表面发金属反射镜面，通过一条或多条悬臂梁结构(4)连接微镜与衬底晶圆(1)；金属连接线(5)为薄膜状连接线，压电薄膜(6)在悬臂梁结构(4)上，压电薄膜(6)与金属连接(5)相连，在通电的情况下，压电薄膜会产生力，造成悬臂梁的弯曲，微镜反射镜金属表面(3)倾斜或偏转，实现偏转、反射光信号；盖板晶圆(8)由玻璃晶圆构成，玻璃晶圆上带有空腔；键合界面(9)是盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)键合后的键合界面，盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)通过共晶键合，阳极键合、玻璃浆料键合、焊料键合技术键合成一个整体，形成空腔(2)，微镜在空腔(2)中，受到压电驱动而运动，吸气剂盒(7)设置在空腔(2)内。

2.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的悬臂梁结构(4)为1～10条。

3.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)整体为圆柱状或长方体结构件。

4.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的反射镜金属表面(3)为圆形件。

5.一种如权利要求1所述的压电式微镜的结构的制备方法，其特征在于：所述的压电式微镜的结构的制备方法中，衬底晶圆(1)作为微镜的支撑与结构层，空腔(2)在沉积晶圆(1)上，为凹槽结构，在晶圆键合后形成空腔(2)；反射镜金属表面(3)：利用物理气相沉积计划，光刻技术、刻蚀或剥离技术、剖光技术制作的微镜的金属反射镜面；悬臂梁结构(4)通过1条或多条悬臂梁，将微镜与衬底晶圆(1)连接；由衬底晶圆(1)通过薄膜沉积、光刻、刻蚀工艺制作而成；金属连接线(5)通过物理气相沉积、光刻、刻蚀或剥离工艺制作的金属薄膜连接线；由金、铝、铬、钛、氧化锌等金属或其合金组成，起到电学连接作用；压电薄膜(6)由PZT、氮化铝压电材料构成，利用物理气相沉积或化学气相沉积技术、光刻技术、刻蚀技术在悬臂梁上制成；压电薄膜(6)与金属连接(5)相连，在通电的情况下，压电薄膜会产生力，造成悬臂梁的弯曲，从而使微镜反射镜金属表面(3)倾斜或偏转，实现偏转、反射光信号。

6.按照权利要求5所述的压电式微镜的结构的制备方法，其特征在于：盖板晶圆(8)由玻璃晶圆构成，利用光刻刻蚀技术，在玻璃晶圆上刻蚀出空腔。

7.按照权利要求5所述的压电式微镜的结构的制备方法，其特征在于：键合界面(9)是盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)键合后的键合界面，盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)通过共晶键合，阳极键合、玻璃浆料键合、焊料键合技术键合成一个整体，形成空腔(2)，微镜可在空腔(2)中，受到压电驱动而运动。

8.按照权利要求5所述的压电式微镜的结构的制备方法，其特征在于：吸气剂盒(7)设置在空腔(2)内，由一种或多种金属及其合金或其氧化物组成，吸收空气，保持空腔(2)中的真空度。