[发明专利]一种快速制备NiSn4 有效
申请号: | 202010337787.6 | 申请日: | 2020-04-26 |
公开(公告)号: | CN111379029B | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 陈捷狮;杨明远;曾志;杨瑾;张泽强;尹志康;孟玄 | 申请(专利权)人: | 上海工程技术大学 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/10;C30B29/64 |
代理公司: | 上海统摄知识产权代理事务所(普通合伙) 31303 | 代理人: | 杜亚 |
地址: | 201620 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快速 制备 nisn base sub | ||
1.一种快速制备NiSn4单晶相的方法,其特征是:使用单晶Ni片作为焊盘,与Sn基钎料在220~260°C回流,即可制备得到NiSn4单晶相;
所述回流是指:将所述单晶Ni片加热到回流温度,然后将所述Sn基钎料放置在所述单晶Ni片上进行回流,回流时间为3min~3h;
所述单晶Ni片的缺陷率占比不大于2%;表面晶界数量占比不超过1%;
所述单晶Ni片的厚度不小于1mm;
所述Sn基钎料为纯Sn即Sn含量不小于99.99wt%的钎料,或为含Ni、Ag、Cu和Zn元素且Ni含量不大于0.1wt%、Ag含量不大于3.5wt%、Cu含量不大于3.5wt%、Zn含量不大于0.8wt%的Sn基钎料;
所述回流后,还放置在硝酸酒精溶液中,并经超声波震动,去除顶层Sn基钎料,剩余单晶Ni片以及界面处生成的NiSn4单晶相;进一步切割分离剩余单晶Ni片以及界面处生成的NiSn4单晶相,获得NiSn4单晶相;
所述NiSn4单晶相厚度≥3μm,面积不小于4μm2;
所述NiSn4单晶相的形状为大片板状;
所述NiSn4单晶相是沿着001方向生长的化合物;
所述NiSn4单晶相是在界面生成的是扁平状。
2.根据权利要求1所述的一种快速制备NiSn4单晶相的方法,其特征在于,所述回流前,对所述单晶Ni片进行表面预处理,即用金相砂纸对材料表面区域进行打磨,去除表面氧化物及杂质,将样品置于丙酮溶液中,经超声波清洗干净后取出并用蒸馏水冲洗和吹干。
3.根据权利要求1所述的一种快速制备NiSn4单晶相的方法,其特征在于,所述回流温度使用熔锡炉的预热平台控制。
4.根据权利要求1所述的一种快速制备NiSn4单晶相的方法,其特征在于,硝酸酒精溶液为容积比5~10%的硝酸酒精溶液。
5.根据权利要求1所述的一种快速制备NiSn4单晶相的方法,其特征在于,所述NiSn4单晶相能作为电子微连接中的扩散阻挡层,提高电子封装中互连结构的电迁移可靠性,其互连结构抗电迁移性能比传统的无阻挡层寿命提升100倍以上。
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