[发明专利]一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置

权利要求书

1.一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)在测试样品台的入射光路一侧依次设置光源、滤光片、平行光管和起偏器，使起偏器的偏振方位角为45°；在反射光路，依次设置波片、检偏器，光电接收器；使高能激光器的激光发射端正对夹持在二维工作台上的测试样品表面，在高能激光器的激光脉冲输出方向依次设置有衰减器和会聚透镜，其中，二维工作台、波片、检偏器、高能激光器、接收器和衰减器均连接至工业控制计算机；

2)配合调整波片和检偏器的方位角，同时用探测器接收采集到的光通量；当探测器采集到的光强度最小时实现消光，这时记录波片和检偏器的方位角，以此获得线偏振光反射后的偏振特性，即薄膜测试样品表面反射的p光和s光的振幅比和位相差；

3)调整衰减器的衰减比率，设定激光脉冲的能量大小，触发高能激光器发射1个激光脉冲作用于样品表面；

4)重复步骤2)的测试过程，从而可获得薄膜测试样品表面受到高能激光辐照后线偏振光反射后的偏振特性，即表面反射的p光和s光的振幅比和位相差；

5)采用计算机对高能激光脉冲作用前后，样品表面p、s光反射的振幅比和位相差变化情况进行判断，就可以确定薄膜测试样品是否发生了损伤。

2.根据权利要求1所述的一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法，其特征在于：步骤5)中，将步骤2)中得到的p光和s光的振幅比和位相差与步骤4)得到的结果进行比对，如果偏振参数Ψ或△的数值发生了变化，大于系统初始标定的数值，就认为高能激光辐照后，薄膜测试样品表面发生了损伤；反之，则薄膜测试样品表面完好，其中，tanΨ为p、s光振幅比，△为p、s光位相差。