[发明专利]真空气阀

权利要求书

1.一种真空气阀，其特征在于：包括气阀本体(1)，所述气阀本体(1)具有安装部(11)和柔性密封部(12)，所述安装部(11)用于安装在设于待抽真空容器的器壁上的出气孔中，所述柔性密封部(12)具有环形贴合密封面(121)，所述环形贴合密封面(121)用于贴合出气孔四周的待抽真空容器的器壁外表面，所述环形贴合密封面(121)上设有一个以上通气口(1211)，所述气阀本体(1)设有用于连通待抽真空容器内腔和一个以上所述通气口(1211)的导通通道(13)。

2.根据权利要求1所述的真空气阀，其特征在于：所述通气口(1211)为设于环形贴合密封面(121)上的凹槽。

3.根据权利要求2所述的真空气阀，其特征在于：所述环形贴合密封面(121)由锥面(1212)和环绕在所述锥面(1212)外围的环形平面(1213)构成，沿安装部(11)到环形平面(1213)的方向所述锥面(1212)逐渐靠近待抽真空容器的器壁外表面。

4.根据权利要求3所述的真空气阀，其特征在于：所述锥面(1212)的径向宽度为L1，所述环形平面(1213)的径向宽度为L2，L1：L2的比值范围为1：1～4：1。

5.根据权利要求4所述的真空气阀，其特征在于：所述锥面(1212)与安装部(11)的四周外表面相接，凹槽形式的所述通气口(1211)自安装部(11)的四周外表面径向向外延伸。

6.根据权利要求1所述的真空气阀，其特征在于：所述通气口(1211)为设于环形贴合密封面(121)上的进出气口。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的真空气阀，其特征在于：所述导通通道(13)为设于安装部(11)外表面上的凹槽。

8.根据权利要求2至6中任一项所述的真空气阀，其特征在于：所述导通通道(13)为设于安装部(11)内部的连通孔。

9.根据权利要求1所述的真空气阀，其特征在于：所述环形贴合密封面(121)上设有三个通气口(1211)，三个通气口(1211)绕安装部(11)均匀间隔布置，所述气阀本体(1)对应每个通气口(1211)均设有一个用于连通待抽真空容器内腔和该所述通气口(1211)的导通通道(13)。

10.根据权利要求1所述的真空气阀，其特征在于：所述气阀本体(1)还设有用于迫使柔性密封部(12)变形以使环形贴合密封面(121)脱离所述器壁外表面的控制部件(14)。

11.根据权利要求10所述的真空气阀，其特征在于：所述控制部件(14)为连接于柔性密封部(12)中部位置处的按压凸柱。

12.根据权利要求11所述的真空气阀，其特征在于：所述按压凸柱和安装部(11)对称设置在柔性密封部(12)的两侧，且所述按压凸柱与柔性密封部(12)的连接面面积小于等于所述安装部(11)与柔性密封部(12)的连接面面积。

13.根据权利要求11所述的真空气阀，其特征在于：所述柔性密封部(12)上设有环绕所述按压凸柱的环形凹槽(122)。

14.根据权利要求1所述的真空气阀，其特征在于：所述气阀本体(1)为一体成型的柔性材料件。

15.根据权利要求1所述的真空气阀，其特征在于：所述安装部(11)包括与柔性密封部(12)相连的连接部(111)和与所述连接部(111)相连的两个以上柔性卡凸(112)，各柔性卡凸(112)用于与出气孔四周的待抽真空容器的器壁内表面相抵。