[发明专利]LED阵列转移装置及LED阵列转移方法在审
申请号: | 202010340000.1 | 申请日: | 2020-04-26 |
公开(公告)号: | CN111508888A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 向昌明 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L27/15 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | led 阵列 转移 装置 方法 | ||
本申请实实施例提供了一种LED阵列转移装置及LED阵列转移方法,该LED阵列转移装置,包括:一转移基板;一磁性发生器,其设置于所述转移基板的下表面,用于产生磁场;一磁性屏蔽层,其设置于所述转移基板的上表面,所述磁性屏蔽层开设有多个通孔,所述通孔的形状与待转移的LED单体的形状适配,所述通孔中用于填充磁性吸附液,以所述磁性发生器吸附所述磁性吸附液从而通过所述磁性吸附液吸附放置于其中的LED单体。本申请实施例可以提高LED阵列转移的精确度。
技术领域
本申请涉及LED显示技术领域,具体涉及一种LED阵列转移装置及LED阵列转移方法。
背景技术
在微发光二极管显示(Micro LED)领域,为了制作发光二极管显示器,需要把微小的发光二极管从原始衬底转移到接收基板排列成阵列,涉及巨量且微小的发光二级管精确转移问题。
因此,现有技术存在缺陷,急需改进。
发明内容
本申请实施例的目的在于提供一种LED阵列转移装置及LED阵列转移方法,可以提高LED阵列转移的精确度。
第一方面,本申请实施例提供了一种LED阵列转移装置,包括:
一转移基板;
一磁性发生器,其设置于所述转移基板的下表面,用于产生磁场;
一磁性屏蔽层,其设置于所述转移基板的上表面,所述磁性屏蔽层开设有多个通孔,所述通孔的形状与待转移的LED单体的形状适配,所述通孔中用于填充磁性吸附液,以所述磁性发生器吸附所述磁性吸附液从而通过所述磁性吸附液吸附放置于其中的LED单体。
可选地,在本身所述的LED阵列转移装置中,还包括上料转印板,其设于所述转移基板移动方向上的起始端,以用于将多个LED单体自原始基板上转移至所述转移基板上。
可选地,在本身所述的LED阵列转移装置中,还包括:
设置于所述转移基板上方的检测组件,检测组件用于检测所述LED单体在所述转移基板上是否对齐;
以及设置所述基板上方的取料组件,用于将未对齐的LED单体取走。
可选地,在本身所述的LED阵列转移装置中,还包括:
设置于所述转移基板的移动方向上的末端的补料转印板,用于在被取走LED单体的位置补放一个LED单体。
可选地,在本身所述的LED阵列转移装置中,所述多个通孔呈矩形阵列均匀间隔分布。
可选地,在本身所述的LED阵列转移装置中,所述磁性屏蔽层为CNTs/GO层。
可选地,在本身所述的LED阵列转移装置中,所述转移基板上开设有多个凹槽,所述多个凹槽分别与所述多个通孔一一对应,每一所述凹槽与对应所述通孔正对且连通。
可选地,在本身所述的LED阵列转移装置中,所述磁性发生器为电磁铁发生器。
第二方面,本申请实施例还提供了一种LED阵列转移方法,采用上述任一项所述LED阵列转移装置,所述方法包括以下步骤:
提供一LED阵列板,所述LED阵列板包括第一基板以及呈阵列分布于所述第一基板上的多个LED单体,LED单体的底面与所述第一基板相接;
在每一所述LED单体的顶面添加磁性吸附液;
将用所述LED阵列转移装置的磁性屏蔽层的多个通孔与所述多个LED单体一一对齐,并打开所述LED阵列转移装置的磁性发生器,以将所述多个LED单体一一对应地吸附在所述多个通孔中;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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