[发明专利]一种用于空间探测仪器的阴极及其制备方法

权利要求书

1.一种用于空间探测仪器的阴极，其特征在于，所述阴极的原材料包括：阴极基金属和氧化物薄膜，其中，氧化物薄膜涂覆在阴极基金属表面，氧化物薄膜的厚度不超过阴极基金属的直径。

2.根据权利要求1所述的用于空间探测仪器的阴极，其特征在于，所述阴极基金属包括钨、铼钨、铱或钡中的一种。

3.根据权利要求1所述的用于空间探测仪器的阴极，其特征在于，所述阴极基金属的直径为Φ20um-300um，阴极基金属的长度为：2-80mm。

4.根据权利要求1所述的用于空间探测仪器的阴极，其特征在于，所述氧化物薄膜包括氧化钍、氧化钇或氧化钡中的一种。

5.根据权利要求1所述的用于空间探测仪器的阴极，其特征在于，所述氧化物薄膜的厚度为2um-50um。

6.一种权利要求1所述用于空间探测仪器的阴极的制备方法，包括以下步骤：

1)阴极涂覆：将阴极基金属清洗后，在表面涂覆氧化物薄膜；

2)阴极加热：将阴极基金属及氧化物薄膜进行真空加热并除气；

3)阴极激活：在阴极基金属上施加电流进行真空加热，得到用于空间探测仪器的阴极。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤2)中加热为：在温度200-400℃，真空度不高于1E-4Pa下加热2-4小时。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤3)中加热为：在温度900-1300℃，真空度不高于1E-4Pa下加热1-2小时。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤3)中电流大小为500-600mA。