[发明专利]一种真空镀膜主机的主传动机构在审
申请号: | 202010343794.7 | 申请日: | 2020-04-27 |
公开(公告)号: | CN111455340A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 吴广龙 | 申请(专利权)人: | 台州市思考特机器人科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/35 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 318000 浙江省台*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 主机 传动 机构 | ||
1.一种真空镀膜主机的主传动机构,包括主箱体(10),其特征在于:所述主箱体(10)的下部固定有隔板(12),隔板(12)将主箱体(10)分隔成上镀膜室(1)和下传动室(2);
所述上镀膜室(1)中设有传动主轴套(3),传动主轴套(3)的底部铰接在隔板(12)上;
所述传动主轴套(3)中插套有传动主轴(4),传动主轴(4)的底端通过轴承铰接在传动主轴套(3)的底面中部,传动主轴(4)的顶部伸出传动主轴套(3)的顶面并通过轴承铰接在主箱体(10)的顶板上;
所述传动主轴(4)的外侧壁上固定有多个锥齿轮(41),传动主轴套(3)的侧壁上通过轴承铰接有多个放料杆(5),放料杆(5)的放置部伸出传动主轴套(4)的外侧壁,放料杆(5)的内端固定有传动锥齿轮(51),传动锥齿轮(51)处于传动主轴套(3)中并与对应的锥齿轮(41)相啮合。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构,其特征在于:所述传动主轴(4)的顶端伸出主箱体(10)的顶板的顶面。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构,其特征在于:所述传动主轴套(3)的底端伸出隔板(12)并固定有传动齿轮(31)。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜主机的主传动机构,其特征在于:所述传动主轴套(3)由两个半轴套通过螺栓固定连接,两个半轴套的底端成型有直径小于半轴套的半柱体,两个半柱体组成下轴部,下轴部插套在下传动轴套(32)中,下传动轴套(32)的顶部外侧壁成型有径向延伸边(33),径向延伸边(33)通过螺栓固定连接在两个半轴套的底面上,隔板(12)的中部具有传动通孔(121),传动主轴套(3)的下部插套在传动通孔(121)中。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜主机的主传动机构,其特征在于:所述传动通孔(121)的内侧壁上固定有内自润滑轴套(122),传动主轴套(3)的下部插套在内自润滑轴套(122)中,下传动轴套(32)处于下传动室(2)中并固定有驱动齿轮(131)。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构,其特征在于:所述主箱体(10)的顶板的底面中部固定有导向套(16),导向套(16)的内侧壁上固定有内自润滑套(17),传动主轴套(3)的上部插套在内自润滑轴套(17)中。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构,其特征在于:所述传动主轴套(3)的顶面固定有上环形凹槽(37),上自润滑密封环形套(38)嵌套在上环形凹槽(37)中,上自润滑密封环形套(38)的顶面紧贴主箱体(10)的顶板的底面上。
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