[发明专利]一种管料加工真空镀膜箱体

说明书

本发明公开了一种管料加工真空镀膜箱体，包括主箱体，所述主箱体的底板的底面固定有下支撑架，主箱体的下部固定有隔板，隔板将主箱体分隔成上镀膜室和下传动室；所述上镀膜室中设有传动主轴套，传动主轴套的底部铰接在隔板上，传动主轴套的底端伸出隔板并固定有传动齿轮，主箱体的底板的底面边部固定有驱动电机，驱动电机的输出轴伸入下传动室并固定有驱动齿轮，驱动齿轮与传动齿轮相啮合。本发明可以使放料杆沿着传动主轴进行水平移动，通气其也可以进行自动旋转，使得其上安装的管料的外侧壁上可以均匀镀膜，镀膜效果好。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，更具体的说涉及一种管料加工真空镀膜箱体。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

现有的真空镀膜箱中，其对管体的外侧壁上进行镀膜时，一般是将管体插套在杆体上，杆体固定在旋转主轴上，通过旋转主轴旋转，实现杆体的移动，从而对管体的外部的各个部位进行镀膜，然而，由于管体并不会沿着杆体进行旋转，使得其镀膜效果有限。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种管料加工真空镀膜箱体，它可以使放料杆沿着传动主轴进行水平移动，通气其也可以进行自动旋转，使得其上安装的管料的外侧壁上可以均匀镀膜，镀膜效果好。

本发明解决所述技术问题的方案是：

一种管料加工真空镀膜箱体，包括主箱体，所述主箱体的底板的底面固定有下支撑架，主箱体的下部固定有隔板，隔板将主箱体分隔成上镀膜室和下传动室；

所述上镀膜室中设有传动主轴套，传动主轴套的底部铰接在隔板上，传动主轴套的底端伸出隔板并固定有传动齿轮，主箱体的底板的底面边部固定有驱动电机，驱动电机的输出轴伸入下传动室并固定有驱动齿轮，驱动齿轮与传动齿轮相啮合；

所述传动主轴套中插套有传动主轴，传动主轴的底端通过轴承铰接在传动主轴套的底面中部，传动主轴的顶部伸出传动主轴套的顶面并通过轴承铰接在主箱体的顶板上，传动主轴的顶端伸出主箱体的顶板的顶面并通过联轴器与上驱动电机的输出轴相连接，上驱动电机固定在主箱体的顶板的顶面上固定有的上支撑架的顶板的顶面上，上驱动电机的输出轴穿过上支撑架的顶板的底面；

所述传动主轴的外侧壁上固定有多个锥齿轮，传动主轴套的侧壁上通过轴承铰接有多个放料杆，放料杆的放置部伸出传动主轴套的外侧壁，放料杆的内端固定有传动锥齿轮，传动锥齿轮处于传动主轴套中并与对应的锥齿轮相啮合。

所述传动主轴套由两个半轴套通过螺栓固定连接，两个半轴套的底端成型有直径小于半轴套的半柱体，两个半柱体组成下轴部，下轴部插套在下传动轴套中，下传动轴套的顶部外侧壁成型有径向延伸边，径向延伸边通过螺栓固定连接在两个半轴套的底面上，隔板的中部具有传动通孔，传动通孔的内侧壁上固定有内自润滑轴套，传动主轴套的下部插套在内自润滑轴套中，下传动轴套处于下传动室中并固定有驱动齿轮。

所述传动主轴套的下部外侧壁上固定有底部旋转盘，底部旋转盘的底面固定有多个半球自润滑块，半球自润滑块的球面压靠在隔板的顶面上，底部旋转盘的外侧壁上成型有的环形槽，密封圈嵌套在环形槽中，密封圈的外侧壁紧贴主箱体的内侧壁。

所述主箱体的顶板的底面中部固定有导向套，导向套的内侧壁上固定有内自润滑套，传动主轴套的上部插套在内自润滑轴套中，传动主轴套的顶面固定有上环形凹槽，上自润滑密封环形套嵌套在上环形凹槽中，上自润滑密封环形套的顶面紧贴主箱体的顶板的底面上。

所述主箱体的内侧壁上竖直设有若干磁控溅射靶。