[发明专利]气体分布台和悬浮传动装置

说明书

本发明公开一种气体分布台和悬浮传动装置，其中，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；或，所述气体分布台包括多个子台体和多个传动辊，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面。本发明技术方案隔开气体分布台和沉积基材，避免沉积基材膜划损，从而降低废品率。

技术领域

本发明涉及原子层沉积技术领域，特别涉及一种气体分布台和悬浮传动装置。

背景技术

目前的悬浮传动装置都是通过传动装置直接将沉积基材膜传送在气体分布台上，在传动的过程中，沉积基材膜容易与气体分布台内的零部件表面摩擦容易刮花，导致废品率较高。

上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种气体分布台和悬浮传动装置，旨在隔开气体分布台和沉积基材膜，避免沉积基材膜划损，从而降低废品率。

为实现上述目的，本发明提出的一种气体分布台；所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；

或，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体包括多个子台体，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面。

在一实施例中，每一所述传动辊与所述本体活动连接；或，每一所述传动辊与所述子台体活动连接。

在一实施例中，所述本体还凹设有多个容纳槽，每一所述容纳槽位于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元连通，每一所述传动辊设于一所述容纳槽内，并突出所述容纳槽的槽口，且所述传动辊与所述容纳槽的槽壁之间具有间隔。

在一实施例中，所述气体分布台还包括设于所述本体的抽气装置，每一所述容纳槽的槽壁设有多个间隔排布的抽气孔，所述抽气装置与多个所述抽气孔连通，所述抽气装置用于抽离位于所述容纳槽内的气体。

在一实施例中，所述气体分布台还包括设于多个安装座，且多个所述安装座分别设于所述本体相对两侧，每一所述传动辊的两端分别与两个所述安装座可拆卸连接。

在一实施例中，所述安装座包括：

基座，设于所述本体的外壁；和

安装块，抵接于所述基座，所述传动辊的一端与所述安装块可拆卸地连接。

在一实施例中，所述安装座还包括设于所述基座与所述安装块之间的垫片，所述垫用于调节所述安装块在所述基座上的高度。

在一实施例中，所述基座包括底板和设于所述底板的第一侧板和第二侧板，所述底板与所述第一侧板、所述第二侧板呈夹角设置，所述底板、所述第一侧板及第三侧板围合形成安装槽，所述安装块放置于所述安装槽内。

在一实施例中，所述本体还设有多个容纳槽，每一所述容纳槽位于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元连通；多个所述传动辊包括多个第一传动辊和多个第二传动辊，每一所述第一传动辊和每一所述第二传动辊均与一所述容纳槽对应设置，且所述第一传动辊设于所述容纳槽内，并突出所述容纳槽的槽口，所述第一传动辊与所述容纳槽的槽壁之间具有间隔。

本发明还提出一种悬浮传动装置，所述原子层沉积系统包括所述气体分布台。