[发明专利]一种氮化铝陶瓷粉体、其制备方法和封装基板

权利要求书

1.一种氮化铝陶瓷粉体的制备方法，其特征在于，包括：

步骤S1，将铝源、碳源和溶剂湿法球磨混合形成湿混物；

步骤S2，将所述湿混物在高压流体气氛中干燥，得到前驱体；

步骤S3，将所述前驱体氮化，得到含有氮化铝和过量碳源的半成品；以及

步骤S4，对所述半成品进行除碳处理，得到氮化铝陶瓷粉体，

所述步骤S2包括：

将所述湿混物置于干燥室中，对所述湿混物加热的同时向所述干燥室内通入气体以使所述干燥室升压，所述气体为惰性气体，所述气体出口在所述湿混物上方；

将所述湿混物加热至预定温度，当所述干燥室内压力大于预定压力时泄压以维持所述干燥室内压力在预定压力；

当停止通入气体后，密闭的干燥室内压力不再上升表示干燥完成，得到所述前驱体；

其中，所述预定压力为1.0~4.0MPa，所述预定温度为100~250℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述预定压力为1.2~2.0MPa。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述预定温度为150~200℃。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述气体的流速为5~100L/min。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述气体的流速为15~20 L/min。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在所述步骤S2进行过程中，对所述湿混物进行搅拌。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，搅拌速度为20rpm~200rpm。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述溶剂为水或有机溶剂。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙醇、乙二醇或丙醇。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S3包括：

将所述前驱体在氮化气氛中在1400~1600℃下反应2~10h，得到所述半成品。

11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述氮化气氛为氮气、或氮气和氢气的混合气体、或氮气和氨气的混合气体。

12.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S4包括：

使所述半成品在含氧气的混合气体中、550~700℃保温2~6h进行除碳，得到所述氮化铝陶瓷粉体。