[发明专利]一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法在审
| 申请号： | 202010351620.5 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111398693A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张超;刘锐;孙鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 参数 网络分析 测量 真空 电容 esr 方法 | ||
1.一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，包括：
步骤一：将S参数网络分析仪的两测试端口通过传输线缆连接测试夹具；
步骤二：将待测真空电容的两端连接在所述测试夹具中的微带线与地线之间；
步骤三：测量待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值；
步骤四：根据待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，计算输出该待测真空电容的ESR值和Q值。
2.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述S参数网络分析仪的响应频率的下限不高于200kHz，所述S参数网络分析仪的响应频率的上限不低于3GHz。
3.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述传输线缆与所述测试夹具的阻抗不低于50Ω。
4.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，步骤二连接完成后，对所述S参数网络分析仪进行通路校准。
5.根据权利要求4所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述通路校准后的驻波比VSWR不大于1.01。
6.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述待测真空电容的两端焊接在所述测试夹具中的微带线与地线之间。
7.根据权利要求1或6所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述测试夹具的介电常数为3.5，厚度为1.52mm，损耗角正切0.001。
8.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，所述微带线与地线之间的距离为1.5mm。
9.根据权利要求1所述的一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，其特征在于，在S参数网络分析仪响应频率范围内每间隔固定频率范围测量一次待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值。
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