[发明专利]一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置

权利要求书

1.一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：包括测试仪、安装有多个探针的探针卡、用于承载待测试温度传感器晶圆的台盘、以及存贮有绝缘导热油的容器，所述测试仪通过导线与探针的端部连接，所述探针与待测试温度传感器晶圆相对应，所述的探针、待测试温度传感器晶圆和台盘浸没在绝缘导热油中；

所述绝缘导热油的原料包括矿物基础油30-45份、蓖麻油15-30份、花生油18-22份、己内酰胺4-6份、辛酸锌0.5-1份、丁基羟基茴香醚0.01—0.03份；

所述矿物基础油和蓖麻油的总重量为50—60份， 且所述花生油的重量为矿物基础油和蓖麻油总重量的三分之一。

2.根据权利要求1所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：还包括套设在导线上的集束管，所述探针卡顶部开设有通槽，所述探针端部的导线依次穿过通槽和集束管与测试仪连接。