[发明专利]一种提高铟镓砷光电阴极近红外波段响应的激活方法

权利要求书

1.一种提高铟镓砷光电阴极近红外波段响应的激活方法，其特征在于，包括铯源激活和氧源激活，第一步激活过程中用一个卤素灯白光光源垂直照射阴极面，第二步激活过程中用1064nm激光器，具体步骤如下：

步骤1、对待激活样品进行化学清洗和高温净化；

步骤2、开启卤素灯白光光源，开启铯源，卤素灯白光光源以及铯源垂直照射阴极面，光电流逐渐上升，光电流达到峰值后下降；

步骤3、当光电流下降到设定阈值范围时，开启氧源，并保持铯源开启状态，光电流转为上升；

步骤4、当光电流再次到达峰值时关闭氧源；

步骤5、重复步骤3和步骤4，直到光电流的峰值电流不再增加时，先后关闭氧源和铯源，结束第一步激活；

步骤6、将卤素灯白光光源更换为1064nm激光垂直照射阴极面，开启铯源，当光电流开始下降时关闭铯源并开启氧源，光电流转为上升；

步骤7、当光电流到达峰值时关闭氧源并开启铯源，光电流先下降然后立刻上升；

步骤8、当光电流再次到达峰值时关闭铯源并开启氧源，光电流先小幅下降然后立刻上升；

步骤9、当光电流到达峰值再次下降时关闭氧源，光电流回升并保持稳定；

步骤10、关闭激光器，激活结束。

2.根据权利要求1所述的提高铟镓砷光电阴极近红外波段响应的激活方法，其特征在于，步骤1化学清洗方法为：去除样品表面的油脂，放入盐酸和异丙醇混合溶液中刻蚀，用去离子水将样品充分冲洗干净。

3.根据权利要求1所述的提高铟镓砷光电阴极近红外波段响应的激活方法，其特征在于，步骤1中高温净化步骤为：将化学清洗后的样品放入超高真空系统中进行15-40分钟的加热，加热温度为550～650℃。

4.根据权利要求1所述的提高铟镓砷光电阴极近红外波段响应的激活方法，其特征在于，超高真空系统的真空度不低于10^-7Pa数量级。

5.根据权利要求1所述的提高铟镓砷光电阴极近红外波段响应的激活方法，其特征在于，设定阈值范围为光电流峰值的50％～85％。