[发明专利]一种激光自混合的位移精密测量方法及系统

权利要求书

1.一种激光自混合的位移精密测量方法，其特征在于，包括：

激光器发出激光至待测物体上，所述待测物体发生位移；

激光在待测物体上发生反射后沿原路反馈回激光器谐振腔内，发生激光自混合干涉；

采集自混合信号，并将光信号转化成电信号；

采用EEMD算法对电信号进行去噪；

对去噪后的电信号进行归一化处理，并根据对称折叠算法计算光反馈因子和线宽展宽因子；

根据相位展开算法进行位移重构。

2.如权利要求1所述的激光自混合的位移精密测量方法，其特征在于，所述采集自混合信号，并将光信号转化成电信号之后，采用EEMD算法对电信号进行去噪之前还包括：

将所述电信号放大。

3.如权利要求2所述的激光自混合的位移精密测量方法，其特征在于，所述将所述电信号放大，具体包括：

通过信号放大电路将所述电信号放大。

4.如权利要求1所述的激光自混合的位移精密测量方法，其特征在于，所述采集自混合信号，并将光信号转化成电信号，具体包括：利用光电探测器采集自混合信号，并将光信号转化成电信号。

5.如权利要求1所述的激光自混合的位移精密测量方法，其特征在于，通过在待测物体上贴反射片实现激光的反射。

6.一种激光自混合的位移精密测量系统，其特征在于，包括：

激光器，用于发出激光至待测物体上；

反射片，设于待测物体上，用于将激光反射后沿原路反馈回激光器谐振腔内，并发送激光自混合干涉；

光电探测器，用于采集自混合信号，并将光信号转化成电信号；

计算机，用于对电信号进行处理，具体包括：

采用EEMD算法对电信号进行去噪；

对去噪后的电信号进行归一化处理，并根据对称折叠算法计算光反馈因子和线宽展宽因子；

根据相位展开算法进行位移重构。

7.如权利要求6所述的激光自混合的位移精密测量系统，其特征在于，还包括：

信号放大器，用于在对电信号进行处理前将所述电信号放大。

8.如权利要求6所述的激光自混合的位移精密测量系统，其特征在于，还包括三维位移台，用于调节各器件位置，使激光在所述反射片上反射后可以沿原路反馈回激光器谐振腔内。

9.如权利要求6所述的激光自混合的位移精密测量系统，其特征在于，还包括：

采集卡，用于采集所述电信号并其将导入所述计算机。

10.如权利要求6所述的激光自混合的位移精密测量系统，其特征在于，所述计算机安装有Matlab软件，利用Matlab软件对电信号进行处理。