[发明专利]一种化学机械抛光设备的清洗装置

权利要求书

1.一种化学机械抛光设备的清洗装置，包括支撑底座（1），其特征在于，所述支撑底座（1）外部顶端安装有固定支架（2），所述固定支架（2）内部顶端安装有驱动机构（3），所述驱动机构（3）包括横向导杆（301）、滑环（302）、固定杆（303）、支撑侧架（304）、活动块（305）、L型转向板（306）、偏折杆（307）、活动卡套（308）和驱动电机（309），所述固定支架（2）内壁顶端安装有所述横向导杆（301），所述横向导杆（301）外部套接安装有所述滑环（302），所述滑环（302）底端安装有所述固定杆（303），所述固定杆（303）外部套接安装有所述活动块（305），所述固定支架（2）外壁中部安装有所述支撑侧架（304），所述支撑侧架（304）外壁中部嵌入安装有所述驱动电机（309），所述驱动电机（309）顶端套接安装有所述活动卡套（308），所述活动卡套（308）内部套接安装有所述偏折杆（307），所述偏折杆（307）顶端与所述活动块（305）外壁之间通过所述L型转向板（306）转动连接，所述驱动电机（309）的电源输入端与市电的输出端电性连接；

所述固定杆（303）底端通过螺纹固定安装有打磨头（6），所述活动卡套（308）顶端与所述L型转向板（306）连接处套接安装有压缩弹簧（7）；

所述固定支架（2）外部对应所述打磨头（6）位置处套接安装有清洗机构（4），所述清洗机构（4）包括清洗板（401）、滑块（402）、收卷盘（403）、储液箱（404）、清洁滚筒（405）、刷条板（406）和喷液板（407），所述固定支架（2）外部两侧对应所述打磨头（6）位置处均滑动安装有所述清洗板（401），所述清洗板（401）外部一侧安装有所述收卷盘（403），所述清洗板（401）顶端表面一侧对应收卷盘（403）位置处安装嵌入安装有所述储液箱（404），所述支撑底座（1）内壁一侧对应所述储液箱（404）位置处均匀套接安装有所述清洁滚筒（405）；

所述清洗板（401）与所述固定支架（2）之间通过所述滑块（402）滑动连接，且所述滑块（402）与所述固定支架（2）之间通过螺栓固定连接；

所述清洁滚筒（405）与所述清洗板（401）内壁之间通过固定轴（12）固定连接，且所述清洁滚筒（405）外壁均匀嵌入安装有刷条板（406），且所述刷条板（406）一侧间隔嵌入安装有所述喷液板（407）；

所述收卷盘（403）内部顶端与所述固定轴（12）内部之间通过连接水管（8）固定连接，所述收卷盘（403）内部安装有收卷杆（9），所述收卷杆（9）外部套接安装有收卷内盘（10），且所述收卷内盘（10）外壁与所述连接水管（8）连接处均匀安装有防滑胶块（11）；

当打磨头（6）在进行往复运动时，通过打磨头（6）外部与清洗板（401）内部多个清洁滚筒（405）之间的接触，并由收卷盘（403）与外部供水设备的连接，通过储液箱（404）处的连接水管（8）将清洁液注入至清洗板（401）内部，通过多个清洁滚筒（405）与打磨头（6）之间的接触，由清洁滚筒（405）处的喷液板（407）可以通过清洁液对打磨头（6）外部粘覆的杂质进行冲洗，并可通过刷条板（406）进行二次擦拭，从而有效保证了打磨头（6）在清洗时的洁净性能。

2.根据权利要求1所述的化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述支撑底座（1）内部顶端对应所述清洗板（401）位置处安装有回收机构（5），所述回收机构（5）包括储液斗（501）、不锈钢滤网（502）、通电磁线圈（503）和排污阀（504），所述支撑底座（1）内部顶端对应所述清洗板（401）位置处开设有所述储液斗（501），所述储液斗（501）内壁顶端嵌入安装有所述不锈钢滤网（502），所述储液斗（501）内壁底端一侧嵌入安装有所述排污阀（504）。

3.根据权利要求2所述的化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述支撑底座（1）内部底端对应所述储液斗（501）位置处嵌入安装有所述通电磁线圈（503），且所述储液斗（501）为底端为倾斜设置。

4.根据权利要求1所述的化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述滑环（302）内壁贴覆安装有润滑油脂，且所述滑环（302）顶端嵌入安装有注油嘴。

5.根据权利要求1所述的化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述清洗板（401）内壁底端对应所述清洁滚筒（405）位置处均匀开设有通孔。