[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法

权利要求书

1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括：

-提供带电粒子束以及样品；

-用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分；

-使用第一检测器获得测量的检测器信号，其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射；

-提供数据类元素集，其中每个数据类元素将期望的检测器信号与对应样品信息值相关联；

-处理所述测量的检测器信号，其中所述处理包括，对于多个采样位置中的每一个：

○将所述测量的检测器信号与所述的数据类元素集进行比较；

○确定所述测量的检测器信号属于所述的数据类元素集中的某一个的至少一个概率；以及

○将至少一个样品信息值和所述至少一个概率分配给所述多个采样位置中的每一个；以及

-以数据表示具有对应样品信息值和对应概率的所述多个采样位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其中至少部分地预定义所述数据类元素集。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中借助算法至少部分地确定所述数据类元素集。

4.根据权利要求1-3所述的方法，其中借助处理单元至少部分地确定所述数据类元素集。

5.根据权利要求1-4所述的方法，其中当测量的检测器信号被分类为至少两个数据类元素时，使用贝叶斯算子。

6.根据权利要求1-5所述的方法，其中以数据表示包括提供包含所述数据的图像的步骤。

7.根据权利要求6所述的方法，包括参考HSV彩色空间提供表示所述数据类元素集的颜色集，并使用所述颜色集提供所述图像的步骤。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述颜色集使用色调信息和/或饱和度信息来编码所述数据类元素。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其中所述颜色集使用色调信息和/或饱和度信息来编码所述概率。

10.根据权利要求9所述的方法，其中编码所述概率包括混合与对应的两个或多个数据类元素相关联的两个或多个色调。

11.根据权利要求6-10所述的方法，包括以下步骤：使用第二检测器检测来自所述样品的第二类型的发射，所述样品响应于在所述样品的所述区域上扫描的所述束，以及使用值信息编码所述图像中所述第二类型的所述发射。

12.根据权利要求1-11所述的方法，其中所述第一检测器用于获取所检测到的第一类发射的频谱信息。

13.一种带电粒子显微镜，用于使用根据前述权利要求中的一项或多项所述的方法检查样品，包括：

-光学柱筒，包括带电粒子源、形成透镜的最终探针和扫描仪，用于将从所述带电粒子源发射的带电粒子束聚焦到试样上；

-试样台，位于所述形成透镜的最终探针的下游，并布置成用于保持所述试样；

-第一检测器，用于检测源于所述试样的第一类型的发射，所述试样响应于从所述带电粒子源发射的带电粒子的入射；

-连接到所述第一检测器的控制单元和处理装置；

其中所述带电粒子显微镜被布置成用于执行根据前述权利要求中的一项或多项所述的方法。