[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法

权利要求书

1.一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：

提供带电粒子射束以及样品；

在所述样品上扫描所述带电粒子射束；

使用第一检测器响应于在所述样品上扫描的所述射束检测来自所述样品的第一类型的发射；

使用检测到的所述第一类型的发射的光谱信息，将多个相互不同的相位分配给所述样品；

参考HSV颜色空间，将对应的多个不同色调与所述多个相互不同的相位相关联；和

由控制单元提供所述样品的图像表示，其中所述图像表示含有所述相关联的不同色调；

其特征在于以下步骤：

提供预选的连续色调范围；

以这种方式从所述预选的连续色调范围中选择所述多个不同的色调，使得所述选择的色调包含在所述预选的连续色调范围内的相互对应的间隔；和

将所述选择的色调与所述多个相互不同的相位相关联。

2.根据权利要求1所述的方法，其中选择所述多个不同色调的步骤包含使用关于所述多个相互不同的相位的信息作为输入变量。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其包含重复选择所述多个不同色调的所述步骤，并且将所述重新选择的色调与所述多个相互不同的相位相关联。

4.根据权利要求1至3所述的方法，其包含使用算法来选择和关联所述多个不同色调的步骤。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述算法为非确定性的。

6.根据权利要求1至5所述的方法，其包含使用人工神经网络（ANN）来选择和关联所述多个不同色调的步骤。

7.根据权利要求6所述的方法，其包含使用自组织映射（SOM）作为所述人工神经网络的步骤。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中所述ANN的不同节点表示不同的相位。

9.根据权利要求6至8所述的方法，其中所述ANN的外缘对应于所述预选的连续色调范围。

10.根据权利要求6至9所述的方法，其中参考HSV颜色空间，所述ANN包含至少相对于色调和饱和度的信息。

11.根据权利要求6至10所述的方法，其包含初始化所述ANN以包括多个预选相位作为对应的预选节点的步骤。

12.根据权利要求6至11所述的方法，其包含训练所述ANN的步骤，其中所述训练步骤特别包含将所述ANN与所述分配的多个相互不同的相位相匹配的步骤。

13.根据权利要求1至12所述的方法，其包含将特定色调预先分配给特定相位的步骤。

14.根据权利要求1至13所述的方法，其包含基于关于所述多个相互不同的相位的信息来归一化颜色特性的步骤。

15.根据权利要求1的序文所述的方法，其特征在于：

提供预选的连续色调范围；

至少使用检测到的所述第一类型的发射的光谱信息来提供一个或多个调整变量；

基于所述调整变量从所述预选的连续色调范围中选择所述多个不同的色调；和

将所述选择的色调与所述多个相互不同的相位相关联。

16.一种带电粒子显微镜，用于根据前述权利要求中一项或多项所述的方法检查样品，并且包含：

光学柱，其包括带电粒子源、最终探针形成透镜和扫描仪，用于将从所述带电粒子源发射的带电粒子射束聚焦到标本上；

标本台，其位于所述最终探针形成透镜下游并被布置用于固持所述标本；

第一检测器，其响应于从所述带电粒子源发射的带电粒子的入射，检测源自所述标本的第一类型的发射；

控制单元和处理设备，其连接到所述第一检测器；

其中所述带电粒子显微镜被布置用于执行根据前述权利要求中一项或多项所述的方法。