[发明专利]一种多光源激光损伤阈值的测试装置

说明书

本发明公开了一种多光源激光损伤阈值的测试装置，包括激光器、偏振片、隔离器、λ/2波片、偏振片、45°全反镜、激光器、偏振片、隔离器、λ/2波片、偏振片、半透半反射镜、激光快门、45°全反镜、半透半反射镜、聚焦系统、分束器、分束器、光束分析仪、功率/能量计、光电探测器、光谱分析仪、单色信号光源、准直系统、半透半反射镜、45°全反镜、半透半反射镜、放大系统、高速相机、指示激光器、45°全反镜和控制终端。该装置具有响应速度快、误判率低等优点，能实现多波长激光损伤阈值测试，实现了测试系统的集成化、自动化。

技术领域

本发明涉及光学元器件技术领域，尤其涉及一种多光源激光损伤阈值的测试装置。

背景技术

近年来，随着激光技术的不断发展，大能量超快激光器在激光加工、激光测距、生物医疗检测、军事国防等领域广泛应用，而激光器中光学元件的抗激光损伤能力已成为目前制约大能量激光器发展的主要因素，包括镀有多光谱薄膜光学元器件，光学薄膜是光学元件的核心组成部分，它直接决定着光学元件的抗激光损伤能力，而激光损伤阈值是衡量光学薄膜抗激光损伤能力的重要技术指标。

现有技术中激光损伤阈值的测试主要是针对单一光源建立，而多源同轴损伤阈值测试系统实现全自动化较难，结构复杂、测量精度低，因此多光源高效测量系统是亟待解决的重要技术问题，其测试的准确性也需进一步研究。

发明内容

本发明的目的是提供一种多光源激光损伤阈值的测试装置，该装置具有响应速度快、误判率低等优点，能实现多波长激光损伤阈值测试，实现了测试系统的集成化、自动化。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种多光源激光损伤阈值的测试装置，所述装置包括第一激光器1、第一偏振片2、第一隔离器3、第一λ/2波片4、第二偏振片5、第一45°全反镜6、第二激光器7、第三偏振片8、第二隔离器9、第二λ/2波片10、第四偏振片11、第一半透半反射镜12、激光快门13、第二45°全反镜14、第二半透半反射镜15、聚焦系统16、第一分束器17、第二分束器18、光束分析仪20、功率/能量计21、光电探测器22、光谱分析仪23、单色信号光源24、准直系统25、第三半透半反射镜26、第三45°全反镜27、第四半透半反射镜28、放大系统29、高速相机30、指示激光器31、第四45°全反镜32和控制终端33，其中：

第一激光器1发出的激光经过第一偏振片2、第一隔离器3、第一λ/2波片4、第二偏振片5、第一45°全反镜6反射后进入第一半透半反射镜12传输；第二激光器7发出的激光经过第三偏振片8、第二隔离器9、第二λ/2 波片10、第四偏振片11后进入第一半透半反射镜12传输；两束激光经第一半透半反射镜12传输后耦合同轴；

同轴激光再经过激光快门13、第二45°全反镜14反射后进入第二半透半反射镜15；所述激光快门13用于控制脉冲重频，实现1-on-1或者S-on-1；

指示激光器31发射的激光经第四45°全反镜32反射后进入第二半透半反射镜15，再与第一激光器1和第二激光器7输出到第二半透半反射镜15的激光同轴；

同轴后的激光再经过聚焦系统16、第一分束器17、第二分束器18后作用在样品19的表面上，其中：

经第一分束器17反射的激光由功率/能量计21接收，实时监测作用在样品19表面的激光功率/能量大小，并由光谱分析仪23测试激光光谱；经第二分束器18反射的激光由光束分析仪20接收，实时监测作用在样品19表面的光斑大小，并由光电探测器22测试激光脉冲宽度和重复频率；

单色信号光源24输出的激光经准直系统25准直，再经第三半透半反射镜26分成两束，一束经样品19表面反射后到达第四半透半反射镜28，另一束经第三45°全反镜27反射后到达第四半透半反射镜28，两束光经第四半透半反射镜28后同轴，再经放大系统29处理后进入高速相机30；