[发明专利]一种气浮轴承装置及光刻设备有效
| 申请号： | 202010367533.9 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113589651B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王昱 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F16C32/06;F16C32/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 轴承 装置 光刻 设备 | ||
1.一种气浮轴承装置，其特征在于，包括：
轴承本体(1)，具有多个气浮面(11)和中部区域(12)，多个所述气浮面(11)关于所述中部区域(12)对称分布，且与所述中部区域(12)之间间隔设置形成缝隙(13)；
预载磁铁(2)，设于所述中部区域(12)上；
所述气浮面(11)设置于悬臂(14)的末端，所述悬臂(14)的根部与所述中部区域(12)连接，所述悬臂(14)的延伸部与所述中部区域(12)之间形成所述缝隙(13)；
预载力会通过所述中部区域(12)传递至所述悬臂(14)的根部，再传递至所述气浮面(11)上；
所述气浮面(11)设置有两个，两个所述悬臂(14)于所述中部区域(12)的两侧对称分布；
还包括限位连接件，两个所述悬臂(14)之间通过所述限位连接件连接，所述限位连接件与所述中部区域(12)之间设置有间隙。
2.根据权利要求1所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述悬臂(14)的截面积自所述末端向所述根部减小。
3.根据权利要求1所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述悬臂(14)为轴对称结构，所述气浮面(11)的几何中心位于所述悬臂(14)的对称轴上。
4.根据权利要求1所述的气浮轴承装置，其特征在于，在所述悬臂(14)靠近所述中部区域(12)的连接处沿平行于所述气浮面(11)的方向开设有镂空孔(141)，所述镂空孔(141)沿远离所述气浮面(11)方向的宽度逐渐增大。
5.根据权利要求1所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述限位连接件为贯穿两个所述悬臂(14)的限位轴(3)。
6.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的气浮轴承装置。
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