[发明专利]一种超高纯铝的表面处理方法

权利要求书

1.一种超高纯铝的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括：将所述超高纯铝依次进行第一漂洗、酸洗、第二漂洗及干燥。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一漂洗的洗涤液包括甲苯、二甲苯、丙酮或乙醇中的1种或至少2种的组合。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一漂洗的时间为2-4min。

4.如权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述酸洗中的洗涤液为硝酸、氢氟酸和水的混合酸溶液；

优选地，所述混合酸溶液中硝酸、氢氟酸和水的体积比为(0.5-1.5):(0.5-1.5):(3.5-4.5)。

5.如权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述酸洗的时间为10-20s。

6.如权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，所述酸洗至少进行2次。

7.如权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述第二漂洗包括依次进行的水洗和乙醇清洗。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述水洗的时间为2-4s；

优选地，所述水洗进行2-3次。

9.如权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述乙醇清洗的时间为2-4s；

优选地，所述乙醇清洗的次数为2-3次。

10.如权利要求1-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括：将所述超高纯铝依次进行第一漂洗、酸洗、第二漂洗及干燥；所述第一漂洗的洗涤液包括甲苯、二甲苯、丙酮或乙醇中的1种或至少2种的组合；所述第一漂洗的时间为2-4min；所述酸洗中的洗涤液为硝酸、氢氟酸和水的混合酸溶液；所述混合酸溶液中硝酸、氢氟酸和水的体积比为(0.5-1.5):(0.5-1.5):(3.5-4.5)；所述酸洗的时间为10-20s；所述酸洗至少进行2次；所述第二漂洗包括依次进行的水洗和乙醇清洗；所述水洗的时间为2-4s；所述水洗进行2-3次；所述乙醇清洗的时间为2-4s；所述乙醇清洗的次数为2-3次。